৩০০ মিমি লাইনে, রিন্সিং-এর ফলে সৃষ্ট তাপীয় পরিবর্তনগুলো পরবর্তী বেকিং প্রক্রিয়ার আগেই ফটোরেজিস্টের গুণমানকে প্রভাবিত করে। এই সমস্যা দূর করার জন্য আমরা একটি ওয়াটারপ্রুফ ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি। এটি ডিআই ওয়াটার সাইকেলের সময় ওয়েফারের পৃষ্ঠকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় রাখে; ফলে ওয়েফারের গুণমান অপরিবর্তিত থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যান্ডে কাজ করে; ফলে জল ও সিলিকনে দ্রুত তাপ স্থানান্তরিত হয়। কোয়ার্টজ আবরণ ও IP67 স্ট্যান্ডার্ডের হাউজিংয়ের কারণে ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমেও কোনো সমস্যা হয় না। আলোকিত অঞ্চলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; ফলে লট-থেকে-লট গুণমান অপরিবর্তিত থাকে।
ল্যাম্পটির কার্যকারিতা সরাসরি নিয়ন্ত্রিত হয়; ফলে লাইন ভোল্টেজ পরিবর্তিত হলেও আউটপুট স্থিতিশীল থাকে।
রিন্সিং স্টেশনে এটি কেন কার্যকর?
রিন্সিং স্টেশনেই তাপীয় পরিবর্তনগুলো সবচেয়ে বেশি ঘটে। এই ল্যাম্পের ফলে রিন্সিং তাপমাত্রার কারণে আর অতিরিক্ত বেকিং প্রয়োজন হয় না; ফলে ওয়েফারের গুণমান অপরিবর্তিত থাকে। এর ফলে রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়, স্ক্র্যাপের পরিমাণও কমে যায়।
কী জানা দরকার?
ল্যাম্পটি রিন্সিং জোনের উপর ঊর্ধ্বাভিমুখী বা অনুভূমিকভাবে স্থাপন করা যায়। এর জন্য উপযুক্ত পাওয়ার ও কন্ট্রোল ইন্টারফেস প্রয়োজন। ওয়েফারের পথে কোনো বাধা না থাকে সেদিকে খেয়াল রাখতে হবে।
তাপীয় স্থিতিশীলতা অর্জনের জন্য কিছুটা সময় লাগে; তাই প্রক্রিয়াটিকে সঠিকভাবে পরিকল্পনা করতে হবে।