Role
Na výrobní lince není RTP komora jen ohřívač – je to procesní přístroj. Když výkon lampy kolísá, uniformita teploty waferu se rozchází. Profily soft bake a hard bake jsou mimo specifikaci. Řízení kritických rozměrů ustupuje. Ztrácíte výtěžnost ještě před zahájením kontroly vad.
Technicky nejdůležitější je opakovatelnost. Tento náhradní zdroj světla kompatibilní s Mattson RTP jsme postavili na krátkovlnných halogenových zdrojích a křemenu s vysokou propustností, aby dodával konzistentní zářivou energii do komory. Dosahujete stability teploty ±0,1°C přes celý wafer, takže termální rozpočet zůstává zachován – zejména u pokročilých technologií. Sestava je určena pro čisté prostory třídy 1–100, s materiály a konstrukcí eliminujícími tvorbu částic na nulu. Je navržena k provozu 24/7 s cílem minimalizovat neplánované prostoje.
Důvod, proč obstojí v litografických linkách a RTP zařízeních: je potřeba termální opakovatelnost z jedné směny na druhou. S touto lampou pečení fotorezistu zůstává ve specifikaci, takže uniformita CD a kontrola profilů neklesají. Síla filmu je konzistentnější, množství přepracování se snižuje a odpad klesá. Spotřeba energie je rovněž stabilní – stabilní výkon a efektivní přenos znamenají, že proces nemusíte přetěžovat kvůli stárnutí lampy.
Několik praktických poznámek. Instalace je specifická pro daný přístroj, proto je nutné přiřadit patice lampy, konektor a optické zarovnání přesně podle původní konfigurace Mattson. Po výměně je nutná kalibrace intenzity výkonu, aby byla udržena správnost nastavení receptu. A před výměnou ověřte stav okna komory a čistotu reflektoru – výkon lampy je závislý na stabilitě optické dráhy kolem ní.