In der Fertigungszelle reicht bereits eine kleine Temperaturschwankung aus, um große Mengen an Produkten als unbrauchbar zu betrachten. Wenn die Trocknung der Wafer oder das Erhitzen des Photoresists auch nur geringfügig abweicht, treten Defekte auf – sowie Schwankungen in der Linienbreite. Solche Probleme werden erst Stunden später erkennbar. Wir halten daher einen großen Bestand an IR-Lampen bereit, damit die wichtigen thermischen Prozesse niemals warten müssen.
Was technisch wichtig ist: Unsere IR-Lampen umfassen alle möglichen Arten – Kurzwellen-, Mittelwellen- und Kohlenstoffemitterlampen. Dadurch kann die Temperatur während des Reinigens der Wafer sowie bei der Lithografie optimal gesteuert werden. Die schnelle Temperaturanhebung ermöglicht ein gleichmäßiges Erhitzen der Wafer, während die Wiederholgenauigkeit dazu beiträgt, dass der Prozessstabilität erhalten bleibt. Die Lampen sind für den Einsatz in Reinräumen konzipiert – mit geringer Ausgasung und effektiver Partikelkontrolle. Die Leistung der Lampen bleibt über längere Zeit konstant, und die Hardware passt in die Standardgeräte und Schnittstellen, die bereits im Einsatz sind.
Warum das in der Praxis funktioniert: Bei der Trocknung der Wafer wird die Wärme schnell zugeführt und gleichmäßig verteilt – dadurch wird Feuchtigkeit entfernt, ohne dass Spannungen auf der Oberfläche entstehen. Bei der Verarbeitung des Photoresists sorgt eine konstante Temperatur dafür, dass Störwellen und Ablagerungen vermieden werden. Dadurch lässt sich die Genauigkeit der Abmessungen verbessern. Dadurch sind die Prozesszeiten vorhersehbarer, es fallen weniger Produkte als unbrauchbar aus, und es wird weniger Energie für Korrekturen benötigt. Da wir immer genügend Lampen vorrätig haben, können sie schnell ausgetauscht werden – dadurch wird die Stillstandzeit minimiert und der Zeitplan bleibt eingehalten.
Dinge, die man am eigenen Leib erfahren muss: IR-Systeme erfordern Aufmerksamkeit bezüglich der optischen Ausrichtung sowie des Zustands der Reflektoren. Schon eine kleine Fokussierungsfehler kann dazu führen, dass die Gleichmäßigkeit beeinträchtigt wird. Vor der Installation sollten Sie die Kompatibilität mit den anderen Geräten sowie die Kühlanforderungen überprüfen. Die Leistung der Lampen nimmt mit der Zeit ab – daher sollte man vorsorglich Ersatzlampen bereithalten. Es ist außerdem wichtig, die spektrale Eigenschaften der Lampen an die Absorptionsverhalten des Photoresists anzupassen – dazu sollte eine kurze Qualifizierungsprobe durchgeführt werden.