In der Fertigungshalle ist es so: Schon eine kleine Abweichung in der Temperatur während des Trocknungsprozesses kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Dimensionen nicht mehr gewährleistet wird. Man braucht also keine hohe Temperatur – vielmehr ist thermische Stabilität wichtig, damit die Temperaturen über mehrere Schichten hinweg innerhalb des zulässigen Bereichs bleiben.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden lineare Infrarotheizgeräte, die kurzwelliges Infrarotlicht abgeben. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C konstant. Die Reaktionszeit ist sehr kurz – nur Millisekunden – sodass eine geschlossene Regelung möglich ist, die den Trocknungsprozess genau kontrollieren kann.
Die Heizgeräte sind für Reinräume der Klasse 1–100 konzipiert. Die verwendeten Materialien und Oberflächen sorgen dafür, dass die Partikelbildung auf ein Minimum reduziert wird. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden lang stabil, mit weniger als 5% Intensitätsabweichung. So können die Einstellungen für den weichen und harten Trocknungsprozess von Tag zu Tag wiederholt werden.
Warum das beim Photoresist funktioniert: Beim Verarbeiten von Photoresist geht es darum, die thermischen Bedingungen genau zu steuern. Zu wenig Energie führt dazu, dass der Lösungsmittel nicht vollständig verdampft. Zu viel Energie wiederum führt dazu, dass der Photoresist fließt oder der darunterliegende Film beschädigt wird.
Mit diesen Heizgeräten wird eine präzise und gleichmäßige Erwärmung der Waferoberfläche erreicht. Dadurch bleiben die Eigenschaften der CD-Ergebnisse konstant, die Defekte nehmen ab und der Ausschuss sinkt. Die schnelle thermische Reaktion verkürzt außerdem die Bearbeitungszeit. Die Energie wird nur dort eingesetzt, wo sie benötigt wird – ohne Überschreitung der Grenzwerte.
Dinge, die man beachten muss: Diese Heizgeräte entsprechen internationalen Standards für Halbleiterausrüstung. Sie stellen eine valide Alternative zu den herkömmlichen Geräten dar. Sie lassen sich in bestehende Ofenanlagen integrieren – doch man muss auf die Montagegenauigkeit sowie die Übereinstimmung der Emittivität achten. Die Ausrichtung muss präzise sein, und die elektrischen Verbindungen müssen sauber sein – beides ist wichtig für die thermische Leistung. Planen Sie entsprechende Steuerungssysteme, damit die Regelung stabil bleibt – schließlich verlangt der Prozess genau das.