En la planta de fabricación, como ya se sabe, un cambio incluso mínimo en la temperatura durante el proceso de curado del fotoresisto puede hacer que las dimensiones críticas del producto no cumplan con los estándares exigidos. No se necesita tanto calor como sí se necesita estabilidad térmica, para que esa temperatura permanezca dentro de los límites establecidos, turno tras turno.
Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico
Utilizamos emisores de calor infrarrojo lineales que emiten ondas cortas de luz NIR. De esta manera, logramos mantener una uniformidad de temperatura en el wafer de entre ±0.1°C. La respuesta es rápida, en milisegundos, lo que permite un control preciso del proceso.
El paquete del emisor está diseñado para ser utilizado en salas limpias de clase 1–100. Los materiales y acabados utilizados minimizan al máximo la generación de partículas. La intensidad lumínica se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una variación inferior al 5%. Así, es posible mantener constantes los parámetros de curado, día tras día.
Por qué funciona bien con el fotoresisto
El proceso de tratamiento del fotoresisto depende completamente del control de la temperatura. Si hay poca energía, el disolvente no se elimina adecuadamente. Si hay demasiada energía, el fotoresisto se derrite o se daña la capa subyacente.
Con estos emisores, se logra un calentamiento uniforme en todo el wafer. Esto permite que las características del producto sean consistentes, se reduzcan los defectos y disminuya la cantidad de material desperdiciado. Además, la rápida respuesta térmica reduce el tiempo de procesamiento, y la energía se utiliza únicamente donde es necesaria, sin excesos.
Cosas que hay que tener en cuenta
Estos emisores están diseñados según las normas internacionales para equipos de semiconductores. Son una alternativa válida a las especificaciones de las plataformas convencionales. Se pueden integrar en los hornos existentes, pero hay que prestar atención a las tolerancias de montaje y a la compatibilidad de las emisividades. La alineación debe ser precisa, y las conexiones eléctricas deben estar limpias; ambos factores son cruciales para el rendimiento térmico. Es necesario planificar los circuitos de control adecuadamente, para que el sistema de control sea estable, ya que eso es exactamente lo que exige el proceso.