در سطح ویفر، انحراف حرارتی در حین پردازش فوتورزیست تنها یک نگرانی علمی نیست—این موضوع میتواند عملکرد خط تولید شما را تحت تأثیر قرار دهد. تغییر دمای ۲ درجه سانتیگراد در مرحلهی پخت نرم میتواند کل پروفایل فوتورزیست را به هم بزند و شما به سرعت تغییر اندازههای قطر (CD) و آلودگی را مشاهده خواهید کرد. ما لامپهای مادون قرمز خود را برای کار در نیمهرساناها ساختهایم و آنها حرارت قابل تکرار را دقیقاً در جایی که نیاز است، فراهم میکنند.
آنچه از نظر فنی مهم است ما به مادون قرمز با موج کوتاه (IR) با پاسخ سریع و کنترل حرارتی دقیق تکیه میکنیم. در سطح پخت، هدف ما یکنواختی در سطح ویفر به مقدار ±۰.۱ درجه سانتیگراد است و تکرارپذیری دما در هر چرخه ثابت میماند. این سیستم در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ کار میکند بدون اینکه ذرهای اضافه کند، بنابراین تعداد عیوب پایین میماند. ثبات خروجی در بیش از ۵۰۰۰ ساعت با حداقل افت نور پیگیری میشود. این موضوع درباره رسیدن به یک اوج نیست—بلکه درباره نشستن بر روی نقطه تنظیم، به طور تمیز، درون بودجه حرارتی فوتورزیستهای پیشرفته است.
چرا در لیتوگرافی مؤثر است پخت نرم جایی است که حلالها خارج میشوند و ضخامت فوتورزیست قفل میشود. پخت سخت آن چیزی است که الگو را قبل از اچ قفل میکند. رویکرد مادون قرمز ما فقط ناحیه هدف را گرم میکند، بنابراین تأخیرهای گرم شدن و سرد شدن کاهش مییابد و با عملیات اتاق تمیز سازگار میماند. نتیجه این است که کارهای بازسازی کمتری لازم است، کنترل CD پایدار است و عملکرد عرض خطی که میتوانید به آن اعتماد کنید. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا حرارت به طور مستقیم وارد میشود و ضایعات کمتری وجود دارد. وقتی پروفایل پخت پایدار باشد، پنجره فرآیند باز میشود و ضایعات زمانی کاهش مییابد که پروفایل حرارتی واقعاً با دستورالعمل مطابقت داشته باشد.
این مواردی است که باید برای آن برنامهریزی کنید لامپها به یک باس قدرت پایدار و اختصاصی و مدیریت حرارتی مناسب در رابط ابزار نیاز دارند. راهاندازی کوتاه است، اما هنوز نیاز به همراستایی پروفایل پرتو با هندسه صفحه داغ دارید. طراحی حرارتی را تحت کنترل نگه میدارد، اما تغییرات جریان هوای محیط میتواند یکنواختی پخت را تحت تأثیر قرار دهد—بنابراین برای حساسترین لایهها، پروفایل جریان هوای ثابتی را قفل کنید.