در فرآیند تولید، کافی است یک تغییر جزئی در دما رخ دهد تا محصولات تولید شده از کار بیفتند. اگر خشک کردن ویفرها یا فرآیندهای مربوط به استفاده از فوتورزیست، حتی کمی دچار اختلال شود، نقصها، تغییرات در عرض خطوط و کاهش بازدهی مشاهده خواهد شد؛ این مشکلات ممکن است ساعتها بعد مشخص شوند. ما مقدار زیادی لامپهای مادون قرمز را در اختیار داریم تا فرآیندهایحساس مربوط به دما هرگز متوقف نشوند.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟ لامپهای مادون قرمز ما شامل انواع مختلفی هستند: موج کوتاه، موج متوسط و لامپهای تولیدکننده گاز کربن؛ بنابراین میتوانید دمای مناسب برای تمیز کردن ویفرها و فرآیندهای لیتوگرافی را تنظیم کنید. سرعت بالای این لامپها به تنظیم دقیق دما کمک میکند؛ همچنین قابلیت تکرارپذیری این لامپها باعث میشود فرآیند تولید پایدار باقی بماند. این لامپها برای استفاده در محیطهای پاکسازیشده طراحی شدهاند؛ گازهای تولید شده توسط این لامپها در سطح پایینی است و کنترل ذرات نیز خوب است؛ بنابراین این لامپها در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز کارایی خوبی دارند. خروجی این لامپها در طول زمان پایدار باقی میماند؛ همچنین این لامپها میتوانند در سیستمهای استاندارد مورد استفاده قرار گیرند.
چرا این لامپها در عمل کارایی خوبی دارند؟ در فرآیند خشک کردن ویفرها، گرما به سرعت اعمال میشود و تحت کنترل باقی میماند؛ بنابراین رطوبت از روی ویفرها حذف میشود بدون اینکه فشار روی سطح ویفرها ایجاد شود. در فرآیندهای مربوط به فوتورزیست، دمای یکنواخت به کاهش امواج و لکههای روی ویفرها کمک میکند؛ این امر به کنترل دقیق ابعاد ویفرها کمک میکند. در نتیجه، زمان فرآیند تولید قابل پیشبینیتر میشود، محصولات با کیفیت بیشتری تولید میشوند و انرژی کمتری برای جبران اختلالات مصرف میشود. همچنین، با داشتن مقدار زیادی لامپ در اختیار، تعویض لامپها به سرعت انجام میشود؛ بنابراین زمان توقف غیرمنتظره کاهش مییابد و برنامه تولید حفظ میشود.
چه چیزهایی را باید از راه سخت یاد گرفت؟ سیستمهای مادون قرمز نیاز به توجه به تنظیمات نوری و وضعیت منعکسکنندهها دارند؛ حتی یک اختلال کوچک در تمرکز نور نیز میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود. قبل از نصب، باید سازگاری ابزارها و نیازهای خنککنندگی را بررسی کرد. خروجی لامپها با گذشت زمان تغییر میکند؛ بنابراین باید برای تعویض لامپها برنامهریزی کرد و مجموعههای اضافی از لامپها را نیز در اختیار داشت. تنظیم پاسخ طیفی لامپها با جذب نور توسط فوتورزیست نیز ضروری است؛ بنابراین باید یک فرآیند کوتاه برای تنظیم لامپها انجام داد.