در سالن تولید، سریع یاد میگیرید: تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در پخت فوتورزیست میتواند یکنواختی CD را به هم بزند، و یک رویداد ذرهای میتواند خسارت زیادی وارد کند. ما بدنه هیتر از جنس فولاد ضدزنگ را ساختیم تا عملکرد حرارتی را در محدوده فرآیند حفظ کند—شیفت به شیفت، دسته به دسته.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
بدنه از فولاد ضدزنگ 316L است که به دلیل مقاومت در برابر خوردگی و خروج گاز کم در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ انتخاب شده است. المانهای مادون قرمز موج کوتاه یکپارچه دما را سریع به حد مورد نظر میرسانند و کنترل دقیق، یکنواختی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد روی زیرلایههای ۱۵۰ میلیمتر و ۲۰۰ میلیمتر حفظ میکند. تکرارپذیری پخت به پخت در حدود ±۰.۵ درجه سانتیگراد است، بنابراین پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت شما حفظ میشوند.
طراحی جریان هوا تلاطم را کاهش داده و مناطق مرده را حذف میکند و تولید ذرات را در شرایط عملیاتی عادی زیر ۰.۰۱ ذره بر سانتیمتر مربع نگه میدارد.
دلیل دوام آن در کار واقعی لیتوگرافی
این بدنه برای مراحل حرارتی مجاور لیتوگرافی طراحی شده است که بودجه حرارتی محدودی دارند. دمای تنظیم شده را در طول تغییر دستهها حفظ میکند، زمان انتظار گرم شدن را کاهش میدهد و با حفظ ویسکوزیته فوتورزیست و تنش فیلم در محدوده لازم، بازدهی را ثابت نگه میدارد. مصرف انرژی کنترل شده است—گرمایش هدفمند و تلفات کم در حالت آمادهبهکار—و ساختار آن برای عملکرد ۲۴/۷ در سالن تولید با حداقل وقفههای نگهداری طراحی شده است.
آنچه باید برای آن برنامهریزی کنید
نصب به تطابق رابط ابزار و تأیید جهت جریان هوا خلاصه میشود؛ اگر این موارد رعایت نشود، یکنواختی کاهش مییابد. هیتر تنها زمانی عملکرد اعلام شده را ارائه میدهد که هوای تحویلی اتاق تمیز در دما و سطح ذرات مشخص شده باشد.
برنامهریزی برای کالیبراسیون دورهای سنسورها و بازدید المانها ضروری است. این روش حفظ یکنواختی ±۰.۱ درجه سانتیگراد را در هزاران چرخه تضمین میکند.