Sur la ligne de 300 mm, ces fluctuations thermiques causées par le rinçage peuvent déformer le profil de votre photo-résiste avant le prochain cycle de cuisson. Nous avons donc conçu une lampe infrarouge étanche pour éliminer cette variabilité. Elle maintient la surface de la puce à une température constante pendant les cycles de rinçage à l’eau DI, ce qui permet de garantir que les dimensions critiques restent dans les normes prescrites.
Ce qui est important du point de vue technique La lampe fonctionne dans la bande des infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui lui permet d’agir efficacement sur l’eau et le silicium, entraînant ainsi un chauffage rapide de la surface. L’enveloppe en quartz et le boîtier étanche IP67 sont conçus pour être utilisés dans des salles propres de classe 1–100 : pas de dégazage, pas d’augmentation de la concentration en particules. Dans la zone éclairée, l’uniformité de température reste dans les limites de ±0,1 °C, et la reproductibilité d’une série à l’autre est constante.
Le contrôle est direct, avec un retour d’information en boucle fermée sur le corps de la lampe. Cela assure une sortie stable, même lorsque la tension de la ligne varie.
Pourquoi cela fonctionne bien dans la station de rinçage C’est dans les stations de rinçage que le budget thermique est le plus affecté. Avec cette lampe, il n’est plus nécessaire de compenser les variations de température lors du rinçage, ce qui permet d’améliorer les conditions de cuisson. On observe moins de produits à retraiter, moins de déchets, et un contrôle plus précis des dimensions critiques grâce à la lithographie.
Le chauffage est ciblé et localisé, ce qui évite de gaspiller de l’énergie pour chauffer toute l’eau. La fiabilité de cet appareil a été prouvée en condition réelle : les unités fonctionnent plus de 5 000 heures sans voir leur performance diminuer de plus de 5 %, ce qui réduit les temps d’arrêt imprévus et diminue les besoins en pièces de rechange.
Ce qu’il faut savoir à l’avance La lampe est conçue pour être montée verticalement ou horizontalement au-dessus de la zone de rinçage. Elle nécessite une interface de puissance et de commande adaptée au banc de travail. Il est important de respecter une certaine distance par rapport au chemin parcouru par la puce, afin d’éviter toute ombre.
Il y a un court temps de chauffage avant que la température ne atteigne son niveau souhaité. Il convient donc de planifier correctement l’intégration de cette lampe dans le flux de production, afin d’éviter des temps d’inactivité inutiles.