Come mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita (mentre si riscaldano le lastre di silicio)
Quando si lavora in un ambiente di classe 100, bisogna lottare contro la polvere. Anche un singolo granello di materiale può rovinare l’intero lotto di prodotti.
Il problema è che, quando si riscaldano le lastre di silicio, il pericolo non riguarda soltanto la temperatura elevata, ma anche la lampada stessa. Il vetro standard può rompersi o rilasciare sostanze nocive quando si riscalda, causando contaminazioni. Ecco perché utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza: niente elementi metallici, niente sorprese.
La distanza ideale
Non si può semplicemente avvicinare troppo la lampada a lastra di silicio. In questo caso si creano zone troppo calde che possono deformare il silicio. Peggio ancora, se le due superfici entrano in contatto, si verifica una contaminazione immediata. Trovare la distanza giusta richiede un equilibrio preciso. Se si avvicina troppo la lampada, il calore diventa eccessivo; se invece si allontana troppo, la temperatura non sarà uniforme su tutta la superficie della lastra di 300 mm. Bisogna quindi stare attenti a non esagerare con la potenza della lampada.
Perché utilizziamo il quarzo fuso
Abbiamo eliminato ogni tipo di rivestimento o colla che potesse rompersi o produrre fumo quando la lampada si riscalda. Utilizziamo un involucro di quarzo fuso, poiché può resistere a ripetute variazioni di temperatura senza rompersi. Inoltre, utilizziamo elettrodi speciali per evitare che il sigillo tra la lampada e l’involucro si deteriori. Il vantaggio principale è che il quarzo è così puro che le radiazioni a onde corte passano attraverso di esso senza essere trattenute. Questo permette a più energia di raggiungere la lastra di silicio, mentre la lampada rimane più fredda.
Gli svantaggi
Il quarzo ad alta purezza è però molto fragile. Ama il calore, ma odia essere sottoposto a vibrazioni. Se i supporti della lampada permettono che questa vibri contro un supporto metallico, la superficie della lampada potrebbe danneggiarsi. Una volta che ciò accade, la lampada è destinata a guastarsi rapidamente. Assicuratevi quindi che i supporti siano ben regolati. Non dimenticate nemmeno il sistema di raffreddamento: deve essere abbastanza efficiente per gestire tutto quel calore prodotto dalla lampada.