MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

頭を悩ませることなくMEMSウェーハを乾燥させる方法 もしMEMSの製造に携わったことがあるなら、ウェーハを乾燥させる際の苦労はよくわかるでしょう。これはまさにボトルネックです。液体を完全に除去する必要があり、しかも残渣が一切残らないようにしなければなりません。 私たちのアプローチとしては、短波長...