반도체 청정실용 트롤리 히터

공장 내 이산화탄소 배출을 줄이기 위해 왜 적외선 가열 방식을 사용하는가? 클린룸에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있듯이, 웨이퍼나 기판을 그냥 이동시킬 수는 없습니다. 반드시 일정한 온도를 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 응결이나 열충격이 발생할 수 있으며, 이는 아...