Jak utrzymać czystość w pomieszczeniu klasy 100 podczas podgrzewania płytek krzemowych
Gdy pracujesz w środowisku klasy 100, musisz walczyć z kurzem. Jeden mały kawałek materiału może zniszczyć całą partię produktów.
Trudność polega na tym, że podczas podgrzewania płytek krzemowych zagrożeniem jest nie tylko temperatura, ale także sama lampa. Zwykłe szkło może się rozpaść lub uwalniać substancje nieczyste, co powoduje zanieczyszczenie powierzchni płytki. Dlatego używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości – bez żadnych metali i innych niepożądanych elementów.
Odpowiednia odległość
Nie można po prostu umieścić lampy termicznej bezpośrednio przy płytce krzemowej. Wtedy powstają gorące punkty, które mogą powodować zniekształcenia powierzchni krzemu. A jeśli lampa faktycznie dotknie płytki? To koniec – natychmiastowe zanieczyszczenie.
Należy znaleźć odpowiednią odległość. Jeśli przybliżymy lampę, ciepło będzie intensywne, ale nierównomierne. Jeśli oddalimy ją, aby uzyskać równomierną temperaturę na całej powierzchni płytki o wymiarach 300 mm, możemy chcieć zwiększyć moc lampy. Uwaga – nadmierne obciążenie może doprowadzić do uszkodzenia lampy.
Dlaczego używamy kwarcu spiekowego
Usunięliśmy wszystko, co mogłoby przeszkodzić – żadnych powłok, żadnego kleju, niczego, co mogłoby się oderwać lub dymić pod wpływem ciepła.
Używamy kwarcu spiekowego, ponieważ wytrzymuje wielokrotne nagrzewanie i ochładzanie bez uszkodzeń. Dodatkowo używamy specjalnych elektrod, aby zapewnić dobrą izolację.
Najlepsze jest to, że kwarc jest tak czysty, że promieniowanie krótkofalowe przechodzi przez niego bez problemu. Nie zostaje ono uwięzione w ściankach lampy. To oznacza, że więcej energii trafia na płytkę krzemową, a sama lampa pozostaje chłodniejsza.
Kompromisy („pułapki”)
Wysokoczysty kwarc jest kruchy. Lubi ciepło, ale nienawidzi wstrząsów. Jeśli elementy montażowe pozwalają lampie drgać w kontakcie z metalowymutrzeniem, to powstają zadrapania na powierzchni lampy. Gdy to się stanie, lampa szybko ulega uszkodzeniu.
Upewnij się, że elementy montażowe są dobrze dostosowane. Pamiętaj też o systemie chłodzenia – musi być wystarczająco silny, aby radzić sobie z całą ilością ciepła emitowanego przez lampę.