Сокращение выбросов углерода на производстве: более эффективный способ нагрева пластин
Если мы действительно хотим достичь углеродной нейтральности на производствах полупроводников, нам необходимо прекратить тратить столько энергии на нагрев и обработку пластин.
Большинство стандартных резистивных нагревателей имеют высокий уровень утечек тепла. Они нагревают всю комнату, в то время как нужно нагреть только саму пластину. Это является пустой тратой энергии.
Поэтому мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо нагрева воздуха эти лампы направляют тепло непосредственно на поверхность пластины. Это позволяет быстрее достичь необходимой температуры.
Как это работает
Представьте себе: коротковолновое инфракрасное излучение посылает фотоны прямо в поверхностный слой пластины. Не нужно ждать, пока нагреется вся комната. Нет никаких задержек в процессе нагрева. Тепло поступает непосредственно на пластину.
Когда прекращается нагрев пустого пространства вокруг чипа, потребление энергии на единицу продукции снижается. Это простое решение, но оно очень важно для создания «зеленого завода» в реальном мире.
Нюансы использования
Есть один недостаток: для быстрого нагрева требуются лампы с высокой мощностью. Они действительно мощные, но их интенсивность оказывает большую нагрузку на кварцевые элементы. Если заставлять лампу работать на пределе, она быстро выйдет из строя.
Поэтому необходимо найти оптимальный баланс между мощностью лампы и временем её работы. Мы обычно рекомендуем использовать лампы с переменной мощностью. Это позволяет сохранять стабильную температуру без необходимости частой замены ламп.
Установка
Лучшее в этом решении заключается в том, что его можно легко внедрить в существующую инфраструктуру. Эти лампы предназначены для замены старых нагревателей. Мы используем точные отражатели, чтобы тепло оставалось на пластине, а не распространялось по всей комнате. Это помогает сохранять прохладу в остальной части помещения. Когда комната остается прохладной, системы кондиционирования не должны прилагать больших усилий для поддержания температуры. Таким образом, экономится энергия как на уровне нагревателей, так и на уровне всего предприятия. Это просто логично.