На производственной линии тепловой дрейф не проявляется в виде сигнала тревоги. Он проявляется в изменении критических размеров, утончении слоя фотополимера или необходимости уничтожения большого количества продукции для её переработки. При упаковке пластин на уровне вентиляционных отверстий тепловые условия очень строгие. Если нагреватель не может поддерживать заданную температуру с необходимой степенью однородности, то производительность снижается ещё до того, как пластина попадает в оборудование для обработки.
Мы разработали эти нагреватели с использованием элементов с низкой тепловой массой и оптимизированными для работы в инфракрасном диапазоне. Это позволяет быстро поднять температуру пластины, а затем поддерживать её на постоянном уровне. На всей активной поверхности пластины однородность температуры составляет ±0,1°C, что обеспечивает стабильность процессов обработки при каждой партии продукции.
Материалы, используемые для изготовления камер и уплотнений, выбираются с учётом требований чистых помещений класса 1–100. Поверхности спроектированы таким образом, чтобы не образовывалось никаких частиц и чтобы выделение газов было минимальным. Контроль температуры осуществляется с использованием высокоточных датчиков и быстрой системы обратной связи, что позволяет системе быстро возвращаться в нормальное состояние после ввода пластины и открытия крышки. Это обеспечивает стабильные тепловые условия — что крайне важно для процессов литографии, сушки и затвердевания материалов.
В процессе сушки пластин нагреватель помогает удалить деионизированную воду без возникновения тепловых напряжений или образования защитного слоя на поверхности пластины. В процессе обработки фотополимера такая стабильность обеспечивает предсказуемость процессов сушки, что позволяет сохранять критические размеры и углы поверхности пластины на необходимом уровне.
При упаковке пластин и затвердевании материала нагреватель обеспечивает контролируемое повышение температуры, что снижает риск деформации и образования пустот в структуре пластины. В сочетании с целями непрерывной работы 24/7 и энергоэффективными процессами это позволяет сократить время простоев, объём брака и расходы на энергию, без необходимости изменения химических процессов.
Эти нагреватели можно интегрировать непосредственно в стандартные производственные установки. Однако все равно необходимо проверить их правильную установку относительно системы подачи газов и вентиляции, а также калибровку датчиков температуры во время установки. Необходимо также провести короткие испытания для определения тепловой карты для конкретных типов пластин и подложек.
Как только тепловая карта определена, процесс становится более предсказуемым, и на производственной линии происходит меньше неожиданностей.