На производственном участке все дело сводится к контролю температуры: даже незначительное изменение температуры на долю градуса может привести к нарушению стандартов качества изделия. Необходима не просто высокая температура, а также тепловая стабильность, которая сохранялась бы на протяжении всего процесса обработки.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем линейные инфракрасные нагреватели, которые генерируют коротковолновый инфракрасный свет. Благодаря этому температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C. Время реакции нагревателя очень мало – всего несколько миллисекунд, что позволяет системе контроля точно следить за процессом нагрева.
Корпуса нагревателей разработаны для использования в чистых помещениях класса 1–100; материалы и поверхностные покрытия минимизируют образование частиц. Эффективность нагревателя остается стабильной в течение более 5 000 часов, при этом отклонение интенсивности света составляет менее 5%. Таким образом можно обеспечить стабильность параметров процесса обработки фоторезиста день за днем.
Почему это работает с фоторезистом В процессе обработки фоторезиста ключевую роль играет контроль температуры. Если энергии недостаточно, раствор не сможет полностью удалиться с поверхности пластины. Если же энергии слишком много, фоторезист может потекать или повредиться. С помощью этих нагревателей можно обеспечить равномерное нагревание всей поверхности пластины, что способствует сохранению стабильных характеристик изделия, снижению количества дефектов и уменьшению объема брака. Быстрая реакция нагревателя также сокращает время процесса обработки, а энергия используется только там, где это необходимо.
Что нужно учитывать Эти нагреватели разработаны в соответствии с международными стандартами оборудования для производства полупроводников. Они являются эквивалентной альтернативой стандартным решениям. Их можно интегрировать в существующие печи, но необходимо учитывать толерансы при монтаже и параметры эмиссии. Альяментация элементов должна быть точной, а электрические соединения – чистыми. Тепловые характеристики зависят от обоих факторов. Необходимо продумать систему управления, чтобы контрольная система оставалась стабильной, ведь это и требуется самим процессом обработки.