На линии производства с диаметром пластины 300 мм температурные колебания, возникающие во время процедуры промывки, могут повлиять на параметры фоторезиста до начала следующей процедуры обжига. Мы разработали водонепроницаемую инфракрасную лампу для устранения таких колебаний. Она поддерживает постоянную температуру поверхности пластины во время процедуры промывки, что позволяет сохранять стандартные параметры изделия.
Что имеет значение с технической точки зрения
Лампа работает в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения, что обеспечивает эффективное нагревание поверхности пластины. Кварцевый корпус и герметичный корпус класса IP67 предназначены для использования в чистых помещениях класса 1–100 – нет выделения газов и частиц. Во всей освещаемой зоне однородность температуры составляет ±0,1°C, а стабильность параметров при производстве разных партий продукции сохраняется.
Управление лампой осуществляется с помощью замкнутой системы обратной связи. Это обеспечивает стабильную работу лампы даже при колебаниях напряжения.
Почему это работает на станциях промывки
На станциях промывки температурные колебания могут сильно повлиять на качество процесса. Благодаря этой лампе не требуется дополнительная компенсация температуры во время процедуры обжига, а время обжига сокращается. Это снижает количество бракованных изделий и обеспечивает стабильный контроль параметров изделия в ходе процесса литографии.
Нагрев происходит по мере необходимости и локализованно, поэтому не тратится энергия на нагрев всей воды. Надежность лампы подтверждена на практике: она может работать более 5 000 часов с уменьшением мощности менее чем на 5%, что сокращает время простоев и объем запасных частей.
Что необходимо знать заранее
Лампа предназначена для установки вертикально или горизонтально над зоной промывки. Ей потребуется отдельный источник питания и интерфейс управления, соответствующий особенностям станции промывки. Необходимо соблюдать расстояние от лампы до пути движения пластины, чтобы избежать создания теней.
Для достижения заданной температуры требуется небольшое время разогрева. Необходимо правильно спланировать процесс, чтобы не было периодов бездействия лампы.