ในสถานที่ผลิตชิปนั้น คุณก็รู้ดีว่ามันเป็นอย่างไร: แม้ว่าอุณหภูมิจะเพิ่มขึ้นเพียงเล็กน้อยเท่านั้น ก็อาจทำให้การควบคุมมิติสำคัญๆ ของชิปผิดเพี้ยนได้ ดังนั้นคุณจึงไม่จำเป็นต้องใช้ความร้อนมากมาย แต่สิ่งที่สำคัญคือความเสถียรของอุณหภูมิ ซึ่งต้องอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องพ่นความร้อนแบบอินฟราเรดที่สามารถส่งคลื่นความร้อนระยะสั้นได้ และเราสามารถควบคุมอุณหภูมิของวงจรระดับชิปให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ได้ การตอบสนองของเครื่องพ่นความร้อนนั้นรวดเร็วมาก ภายในเวลาเพียงไม่กี่มิลลิวินาที ดังนั้นระบบควบคุมแบบลูปปิดจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ
ตัวเครื่องพ่นความร้อนนี้ถูกออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมแบบ Cleanroom ระดับ 1–100 โดยใช้วัสดุและการเคลือบที่ช่วยให้การเกิดอนุภาคน้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ ประสิทธิภาพการให้ความร้อนยังคงมั่นคงตลอดเวลากว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงของความเข้มของความร้อนน้อยกว่า 5% นี่คือวิธีที่ทำให้การตั้งค่าอุณหภูมิสำหรับการอบชิปสามารถทำซ้ำได้อย่างแม่นยำทุกวัน
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลกับโฟโตเรซิสต์ กระบวนการประมวลผลโฟโตเรซิสต์นั้นขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิอย่างมาก หากมีพลังงานน้อยเกินไป สารละลายก็จะไม่สามารถละลายโฟโตเรซิสต์ได้ แต่หากมีพลังงานมากเกินไป โฟโตเรซิสต์ก็จะไหลไปมา หรือทำให้ฟิล์มที่อยู่ด้านล่างเสียหายได้
ด้วยเครื่องพ่นความร้อนนี้ คุณจะได้การกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอทั่ววงจรชิป ทำให้คุณภาพของชิปดีขึ้น ข้อบกพร่องลดลง และปริมาณชิปที่เสียหายก็ลดลง นอกจากนี้ การตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการผลิต และคุณจะใช้พลังงานเฉพาะในจุดที่จำเป็นเท่านั้น โดยไม่มีการใช้พลังงานเกินความจำเป็น
สิ่งที่ควรคำนึงถึง เครื่องพ่นความร้อนเหล่านี้ถูกออกแบบมาตามมาตรฐานอุปกรณ์ semiconductor ระดับนานาชาติ และถูกออกแบบมาเพื่อเป็นทางเลือกที่มีประสิทธิภาพเทียบเท่ากับอุปกรณ์มาตรฐานอื่นๆ มันสามารถนำมาใช้ร่วมกับเตาอบที่มีอยู่ได้ แต่คุณต้องให้ความสำคัญกับความแม่นยำในการติดตั้งและการปรับค่าความสามารถในการแผ่ความร้อนด้วย
การจัดวางตำแหน่งของเครื่องพ่นความร้อนต้องมีความแม่นยำ และการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าก็ต้องสะอาดด้วย เพราะประสิทธิภาพการให้ความร้อนขึ้นอยู่กับทั้งสองอย่างนี้ คุณควรวางแผนสำหรับการเชื่อมต่อสายไฟอย่างเหมาะสม เพื่อให้ระบบควบคุมมีความมั่นคง เพราะนั่นคือสิ่งที่กระบวนการผลิตต้องการจริงๆ