Üretim tesislerinde, foto direnç malzemesinin ısıtılması sırasında wafer üzerinde oluşan 0,5°C’lik sıcaklık farkları, kenar genişliği kontrolünü ve dolayısıyla üretim verimliliğini ciddi şekilde etkileyebilir. Kurutma lambalarındaki yansıtıcı parçalar sadece birer donanım parçası değildir; bu parçalar, işlemin her seferinde tekrarlanabilir olmasını sağlayan termal alanı şekillendirirler.
Wafer kurutma lambaları için geliştirdiğimiz bu yansıtıcı parçalar, ±0,1°C’lik bir sıcaklık düzenliliği sağlar. Böylece yumuşak ve sert ısıtma işlemleri tam olarak belirlenen protokollere göre gerçekleşir.
Yüksek saflıkta kuvars malzemeden yapılan bu yansıtıcı parçalar, kısa ve orta dalga boylu kızılötesi ışınlar için optimize edilmiştir. Bu sayede stabil ve tekrarlanabilir bir enerji dağılımı sağlanır ve foto direnç malzemesinin termal özellikleri korunur.
Bu cihaz, Class 1–100 temiz odalarla uyumludur. Düşük gaz salınımına sahip malzemelerden üretilmiş olup, yüzey finishi de parçacık oluşumunu neredeyse sıfıra indirir. Cihaz, plansız arızalar olmadan 24/7 çalışabilir ve 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten daha az intensite değişikliğiyle tutarlı bir performans sergiler.
Litografi işlemlerinde sıcaklık düzenliliği, CD kalitesini kontrol etmede önemli bir faktördür. Wafer üzerinde ±0,1°C’lik bir sıcaklık düzenliliği sayesinde kenar bölgelerindeki kusurlar azalır ve kritik boyutlar daha iyi kontrol edilebilir.
Yansıtıcının temiz yüzeyi sayesinde yeniden işleme ihtiyacı azalır, kalifikasyon süreleri kısalır ve enerji tüketimi düşer. Foto direnç işlemlerinde bu durum, atık wafer sayısının azalmasını ve daha planlanabilir bir üretim verimliliği sağlar.
Montaj işlemi, lambanın konumu ve hava akışıyla ilgilidir. Belirlenen sıcaklık düzenliliğini korumak için yansıtıcının 0,5° içinde hizalanması gerekir; aksi takdirde izotermler değişir.
Bu yansıtıcı parçalar, standart halojen ve NIR kurutma lambalarıyla uyumludur; ancak uyarlamalar modelye özgüdür. Değişim sonrasında, işlem parametrelerini yeniden ayarlamak için kısa bir ısıtma süresi gereklidir.