На заводі етапи випалювання є тими, на яких визначається термальний бюджет процесу – чи буде він достатнім для досягнення бажаних результатів, чи ні. Зміна температури на 2°C під час процедури м’якого чи жорсткого випалювання може вплинути на критичні розміри деталей. Якщо під час процесу з’являються частинки, то все пропало. Традиційні методи нагріву не можуть забезпечити необхідну точність без шкоди для швидкості процесу.
Що насправді має значення
Інфрачервоні нагрівачі середньої довжини хвилі передають енергію безпосередньо на пластину, при цьому спектр випромінювання повністю відповідає параметрам поглинання кремнію. Це дозволяє досягти швидкої термічної реакції та точного контролю температури. Ми підтримуємо однорідність температури на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C, а значення температури залишається стабільним протягом усього процесу.
Конструкція пристрою сумісна з умовами чистої кімнати класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем виділення газів, а також конструкція, яка запобігає потраплянню частинок в процес. Кількість частинок під час випалювання залишається менше 0,3 частинки/см². Система працює 24/7 без перерв, а термальний профіль залишається стабільним протягом тисяч циклів.
Чому це підходить для наших потреб
У літографічних установках ці нагрівачі скорочують час випалювання, не порушуючи при цьому стабільності термального профілю. Це підвищує продуктивність, а параметри фоторезисту залишаються в межах допусків. Витрати енергії зменшуються порівняно з іншими джерелами світла, оскільки енергія спрямовується саме на процес, а не витрачається на непотрібне нагрівання.
Це також покращує однорідність критичних розмірів деталей, оскільки термальний профіль залишається стабільним протягом усіх циклів. У процесі упаковки ця точність забезпечує стабільність процесів приклеювання та ламінування плівок, що значно зменшує кількість необхідних корекцій та відходів.
Що потрібно врахувати з самого початку
Під час встановлення необхідно забезпечити правильне розташування нагрівача щодо пластини та налаштувати напрямок випромінювання, щоб уникнути тіней. Також необхідно врахувати вимоги до електроживлення та систем керування, а також термальний бюджет стін камери.
Інфрачервоне випромінювання чудово підходить для пластин, але менш ефективне для дуже відбивних поверхонь. У таких випадках може знадобитися спеціальна конструкція нагрівача чи корекція значень температури. Перед початком виробництва необхідно перевірити ефективність нагрівача за допомогою термального профілю пластини, а потім закріпити налаштування.