Сушіння пластин MEMS без проблем
Якщо ви коли-небудь працювали з виробництва MEMS, ви знаєте, наскільки складно є сушити ці пластини. Це справжній бар’єр у процесі виробництва. Потрібно, щоб рідина повністю зникла, і при цьому не залишилося жодних слідів її насичення на поверхні пластини.
Наш підхід полягає у використанні ламп короткохвильового інфрачервоного випромінювання для прямого впливу на поверхню пластини. Це своєрідний ефект швидкої активації процесу випаровування. Мета – довести пластину до стану повного висихання, не перетворюючи всю камеру на сауну.
Чому定向 нагрів ефективний
Більшість нагрівачів ґрунтуються на принципі конвекції: вони нагрівають повітря, а потім повітря нагріває саму пластину. Цей метод є повільним та неефективним; крім того, він створює „гарячі зони“ в камері. Ніхто не хоче працювати з пристроєм, у якого зовнішня оболонка може стати джерелом опіку.
Саме тому ми перейшли на定向 інфрачервоне нагрівання. Інфрачервоне випромінювання поширюється прямою лінією; воно не залежить від повітря – воно просто потрапляє на ціль. За допомогою кварцових оболонок та спеціальних відбивачів ми можемо спрямувати всю енергію саме на пластину. Результат? Внутрішня частина пристрою залишається прохолодною, а тепло потрапляє саме на пластину, а не на корпус пристрою.
Енергія, безпека та електричні проблеми
Ці лампи високої потужності потребують значної кількості енергії для швидкого сушіння. Але це може стати проблемою для електричної системи пристрою. Якщо використовувати лампи високої напруги, необхідно переконатися, що електропроводка може витримати таке навантаження. Інакше може статися поломка пристрою.
Ми також фокусуємо промені, щоб запобігти поширенню „непотрібного“ випромінювання. Це необхідно для забезпечення безпеки. Оператор повинен мати можливість торкатися боків пристрою, не ризикуючи отримати опіки, навіть коли температура пластини досягає 150°C.
Недоліки (адже їх завжди є)
定向 нагрів не є чарівною паличкою. Оскільки промені є дуже інтенсивними, вони можуть створювати локальні „гарячі зони“, якщо пластина розташована неправильно. Необхідно дуже уважно контролювати відстань між лампою та пластиною. Якщо лампа знаходиться занадто близько, пластина може деформуватися. Якщо ж вона знаходиться занадто далеко, час сушіння значно збільшується. Усе залежить від знаходження ідеального балансу між швидкістю та безпекою.