300 ملی میٹر لائن پر، رینسنگ کے دوران پیدا ہونے والی حرارتی تغیرات، اگلی بیکنگ سے قبل فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو متأثر کر سکتے ہیں۔ ہم نے ایک پانی سے محفوظ انفراریڈ لیمپ تیار کیا ہے، تاکہ ان تغیرات کو ختم کیا جا سکے۔ یہ لیمپ، ڈی آئی واٹر سائیکلز کے دوران ویفر کی سطح کو ایک مستقل درجہ حرارت پر رکھتا ہے؛ اس طرح آپ کی کریٹیکل ڈائمنشنز مطلوبہ حدود میں رہتی ہیں۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں
یہ لیمپ شارٹ-ویو انفراریڈ بینڈ میں کام کرتا ہے، جس کی وجہ سے یہ پانی اور سلیکون میں مؤثر طریقے سے حرارت پیدا کرتا ہے۔ کوارٹز کا خول اور IP67 رینگنگ ہولڈنگ، کلاس 1–100 کے کلین رومز کے لئے مناسب ہے؛ اس سے کوئی گیس خارج نہیں ہوتی، اور نہ ہی کوئی ذرہ پیدا ہوتا ہے۔ روشن کردہ علاقے میں ویفر کی سطح کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور مختلف بیچوں میں بھی یہ یکسانیت برقرار رہتی ہے۔
لیمپ پر براہِ راست کنٹرول ممکن ہے، کیوں کہ لیمپ کے جسم پر فیڈبیک سسٹم موجود ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ لائن وولٹیج میں تغیرات کے باوجود بھی آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے۔
رینسنگ اسٹیشن میں اس کی کارکردگی
رینسنگ اسٹیشنز میں حرارتی تغیرات کی وجہ سے مشکلات پیدا ہوتی ہیں۔ اس لیمپ کی بدولت، رینسنگ کے دوران پیدا ہونے والی حرارت کی وجہ سے آپ کو سافٹ بیکنگ کی ضرورت نہیں پڑتی، اور ہارڈ بیکنگ کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے۔ اس طرح ریورک کے کیسز کم ہو جاتے ہیں، فضول مال کم ہو جاتا ہے، اور لیتھوگرافی کے ذریعے CD کنٹرول بھی مستحکم رہتا ہے۔
حرارت صرف ضرورت کے وقت ہی پیدا ہوتی ہے، اس لئے آپ بیکار میں توانائی ضائع نہیں کرتے۔ اس لیمپ کی قابلِ اعتمادی ثابت ہو چکی ہے؛ یہ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ وقت تک کام کر سکتا ہے، اور آؤٹ پٹ میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے۔ اس سے غیرمتوقع بندشوں کم ہو جاتی ہیں، اور ذخیرہ کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔
آپ کو پہلے ہی جاننے کی ضرورت والی باتیں
یہ لیمپ، رینسنگ زون کے اوپر عمودی یا افقی طور پر نصب کیا جا سکتا ہے، اور اس کے لئے الگ پاور اور کنٹرول انٹرفیس کی ضرورت ہے۔ ویفر کے راستے میں کوئی رکاوٹ نہ ہو، تاکہ کوئی سایہ نہ پڑے۔
حرارتی سیٹنگ تک پہنچنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے؛ لہذا پروسیس فلو میں مناسب منصوبہ بندی کریں، تاکہ بیکار وقت نہ گزرے۔