Trên dây chuyền sản xuất, quá trình nung phim phơi sáng phụ thuộc hoàn toàn vào khả năng kiểm soát nhiệt độ. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ C thôi cũng đủ làm mất đi tính đồng nhất của lớp phim phơi sáng. Chúng tôi đã thiết kế bóng đèn sưởi dạng bán dẫn có khả năng điều chỉnh độ sáng, nhằm đảm bảo nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình xử lý wafer.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng bóng đèn halogen tia ngắn được đặt trong vỏ bằng thạch anh. Bóng đèn này có khả năng làm nóng nhanh và hiệu quả, đồng thời duy trì nhiệt độ ổn định trong thời gian dài. Khả năng kiểm soát nhiệt độ trong quá trình nung phim phơi sáng rất chính xác, với mức độ đồng nhất của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Việc điều chỉnh độ sáng diễn ra một cách mượt mà, không gây ra hiện tượng đứt quãng, giúp bạn có thể điều chỉnh tốc độ nung một cách chính xác mà không gây ra sai số. Hệ thống này có thể hoạt động tốt trong các phòng sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động. Độ tin cậy của hệ thống này là 24/7; các thiết bị này có thể hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ mà vẫn giữ được mức sai số nhiệt độ dưới 5%.
Tại sao nó phù hợp với dây chuyền sản xuất Dù bạn sử dụng nó như một mô-đun nung riêng biệt hay lắp ghép nó vào nền tảng phủ/phun/chạy nhiệt hiện có, bóng đèn này vẫn thay thế được các bóng đèn truyền thống, đồng thời đáp ứng các tiêu chuẩn quốc tế dành cho thiết bị bán dẫn. Bạn sẽ có được khả năng kiểm soát quy trình sản xuất một cách chính xác hơn, kiểm soát tốt hơn các chi tiết quan trọng của sản phẩm, đồng thời tiết kiệm năng lượng nhờ khả năng điều chỉnh độ sáng. Thời gian xử lý cũng được rút ngắn nhờ khả năng phản ứng nhanh của hệ thống, đồng thời giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động do lỗi kỹ thuật.
Chi tiết kỹ thuật Bóng đèn này có thể được lắp vào các vị trí tiêu chuẩn của công cụ, nhưng bạn cần kiểm tra mức độ kết nối nhiệt với bề mặt wafer khi lắp đặt để đạt được mức độ đồng nhất nhiệt độ mong muốn. Để có kết quả tốt nhất, hãy đảm bảo rằng hướng của bóng đèn và hình dạng của bộ phản quang phù hợp với bề mặt wafer, đồng thời nguồn điện cung cấp phải đủ mạnh để đáp ứng được mức độ điều chỉnh độ sáng. Bóng đèn này hoạt động tốt trong phạm vi nhiệt độ và điện áp được quy định; nếu vượt qua giới hạn này, tuổi thọ của bóng đèn sẽ giảm, và khả năng kiểm soát nhiệt độ cũng bị ảnh hưởng.