Trong quy trình sản xuất, chỉ cần có sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ thôi cũng đủ gây ra nhiều lỗi trong quy trình sản xuất. Nếu quá trình sấy wafer hoặc xử lý chất phủ bề mặt diễn ra không chính xác, bạn sẽ gặp phải các khiếm khuyết, sự thay đổi về chiều rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer, và giảm tỷ lệ sản phẩm tốt. Những vấn đề này thường chỉ được phát hiện sau vài giờ. Chúng tôi luôn dự trữ một lượng lớn đèn hồng ngoại để đảm bảo rằng các bước xử lý nhiệt quan trọng không bị trì hoãn.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Dòng đèn hồng ngoại của chúng tôi bao gồm nhiều loại: đèn sóng ngắn, sóng trung bình và đèn phát ra ánh sáng từ carbon. Điều này giúp bạn điều chỉnh nhiệt độ phù hợp trong quá trình làm sạch wafer và xử lý chất phủ bề mặt. Khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh giúp việc xử lý wafer diễn ra một cách đồng đều, và tính lặp lại cao giúp duy trì độ chính xác trong quy trình sản xuất. Các linh kiện này được thiết kế để sử dụng trong môi trường phòng sạch, với khả năng kiểm soát lượng khí thải và hạt bụi ở mức thấp, phù hợp với môi trường loại 1–100. Độ ổn định của công suất đèn trong suốt thời gian sử dụng cũng rất tốt, và các thiết bị này có thể được kết nối với các thiết bị hiện có trong dây chuyền sản xuất.
Tại sao chúng lại hiệu quả trong thực tế? Trong quá trình sấy wafer, nhiệt độ được điều chỉnh một cách nhanh chóng và ổn định, giúp loại bỏ hơi ẩm mà không gây ra áp lực lên bề mặt wafer. Trong quá trình xử lý chất phủ bề mặt, nhiệt độ ổn định giúp giảm thiểu các sóng âm và các vệt bẩn trên bề mặt wafer, từ đó giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng của wafer. Kết quả là thời gian xử lý trở nên dễ dự đoán hơn, số lượng sản phẩm lỗi giảm đi, và chi phí năng lượng cũng giảm xuống. Với việc luôn có sẵn hàng dự trữ, việc thay thế đèn diễn ra nhanh chóng, giúp giảm thời gian ngừng máy và đảm bảo lịch trình sản xuất được duy trì.
Những điều cần lưu ý Hệ thống hồng ngoại đòi hỏi sự chú ý đến việc đối chiếu vị trí ánh sáng và tình trạng của các bộ phản xạ ánh sáng. Ngay cả sự sai lệch nhỏ về độ tập trung ánh sáng cũng có thể ảnh hưởng đến độ đồng đều của nhiệt độ. Trước khi lắp đặt, hãy kiểm tra xem thiết bị có tương thích với hệ thống hay không, cũng như liệu có yêu cầu gì về hệ thống làm mát hay không. Công suất đèn sẽ giảm dần theo thời gian, vì vậy cần lên kế hoạch thay thế đèn định kỳ và luôn dự trữ một bộ đèn dự phòng. Việc điều chỉnh phản ứng quang học cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của chất phủ bề mặt là điều cực kỳ quan trọng – hãy thực hiện một quy trình kiểm tra ngắn để xác định đúng giá trị nhiệt độ cần thiết.