Trên sàn chế tạo, hồ sơ nướng photoresist không phải là một đề xuất—đó là yêu cầu bắt buộc. Một độ lệch nửa độ trên toàn bộ wafer có thể làm thay đổi CD, và đột nhiên bạn sẽ phải tìm nguồn gốc trong khi lịch trình bị trì hoãn. Chúng tôi đã chế tạo các phụ tùng thiết bị fab chuyên nghiệp của mình để giữ kiểm soát nhiệt độ ổn định nơi mà quy trình cần thiết.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Các mô-đun nhiệt của chúng tôi giữ độ đồng nhất ±0.1°C trên toàn bộ khu vực hoạt động và duy trì tính ổn định của điểm đặt ngay cả khi điện áp dòng và tải nhiệt thay đổi. Tính tương thích với phòng sạch không phải là một bổ sung; nó đã được thiết kế vào. Vật liệu và hoàn thiện bề mặt được chọn để giảm phát khí và sinh ra hạt, vì vậy môi trường ISO Class 1–100 của bạn giữ được trong tiêu chuẩn. Vòng điều khiển được điều chỉnh cho độ lặp lại, vì vậy chu kỳ nướng mềm và nướng cứng đạt cùng ngân sách nhiệt, lô này qua lô khác.
Tại sao nó hoạt động trong quang khắc
Trong quang khắc và xử lý photoresist, bước nướng xác định hình ảnh và độ bám dính. Độ đồng nhất nhiệt độ chặt chẽ giảm thiểu biến động CD trong wafer và giúp năng suất. Hoạt động sạch sẽ và không có hạt có nghĩa là ít lô phế liệu và phải làm lại hơn. Thiết kế tiết kiệm năng lượng và thời gian bảo trì dài giúp giữ chi phí vận hành trong giới hạn. Bạn nhận được hiệu suất ổn định giúp dây chuyền sản xuất hoạt động liên tục, 24/7.
Các chi tiết thực tiễn
Các phụ tùng này sẵn sàng cắm vào các nền tảng công cụ tiêu chuẩn, nhưng việc tích hợp luôn phụ thuộc vào hình dạng buồng, lưu lượng không khí và phạm vi công thức hiện có. Chạy một cuộc kiểm tra ngắn để xác nhận các điểm đặt và tốc độ tăng cho quy trình của bạn.
Thay thế bộ gia nhiệt hoặc thay thế điều khiển sẽ có một khoảng thời gian điều chỉnh ngắn—thu thập dữ liệu, khóa hồ sơ, và dây chuyền sẽ hoạt động với độ chính xác mà bạn cần.