
为什么需要使用镀金反射器?
在晶圆加工过程中,浪费电能意味着白白损失金钱。大多数设备都会让大量能量散失到机器的机壳中,这显然是一种浪费。因此,我们在红外灯泡上使用了镀金反射器。这样,热量就不会四处散失,而是被直接引导到正确的位置——即硅片表面。
镀金的优点
市面上有很多铝制反射器。虽然它们也有一定的作用,但它们会吸收相当一部分红外能量。而黄金则不同,它能更有效地反射近红外光。 当有更多光子照射到晶圆上时,热量分布会更加均匀,从而更快达到目标温度。此外,实现相同效果所需的功率也会大大降低。也就是说,这种设计更加高效。
应对高温问题
当高功率光源被集中到一个小灯泡中时,温度会变得非常高。虽然这种高温有助于快速固化或加热,但对设备来说却是一种考验。我们使用高纯度的石英作为灯泡的材质,这样即使温度很高,灯泡也不会变形或破裂。 不过,必须注意保持灯泡的冷却状态。如果灯泡的散热结构设计不佳,就会导致问题出现,比如连接部件损坏或镀金层受损。
安装与维护
我们设计的这些灯泡可以轻松替代现有的半导体照明装置,无需复杂的安装步骤。我们还调整了反射器的几何结构,以缩小光束范围,从而消除晶圆上的“冷点”现象。 需要注意的是,必须保持灯泡的清洁。即使是薄薄的灰尘或化学残留物,也会影响其性能。建议用合适的溶剂擦拭灯泡,以保持其良好的散热效果。 如果发现镀金层出现剥落或颜色变化,那就说明灯泡已经不能继续使用了,需要及时更换。