如何在加热晶圆的同时，保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净环境中工作时，你实际上是在与灰尘作斗争。哪怕有一小片灰尘进入，整个批次的产品都会被毁掉。
棘手的是：在加热晶圆时，危险不仅仅来自高温，还有光源本身。普通玻璃在受热时会破裂或释放出有害物质，这些物质会污染工作区域。因此，我们使用高纯度的合成石英材料——没有金属杂质，也不会产生任何问题。
“恰到好处的距离”
不能把红外灯直接贴在晶圆上。那样做的话，会在晶圆表面形成局部过热点，导致硅片变形。更糟糕的是，如果灯与晶圆直接接触，就会立刻造成污染。
找到合适的距离其实需要精心调整。如果把灯靠得太近，虽然热量会更强，但分布不均；而如果把灯拉远一些，以让300毫米直径的晶圆获得均匀的温度，那么就有可能需要提高功率。不过要小心，功率过高会导致灯的末端损坏。
为何选择熔融石英
我们摒弃了所有可能因受热而脱落或产生烟雾的成分——没有涂层，没有胶水，什么都没有。
我们使用熔融石英材料，因为它能够反复承受高温和低温而不出现裂痕。此外，我们还使用专门的电极，这样就能避免密封部件过早损坏。
最棒的是，熔融石英的纯度极高，短波红外辐射可以顺利穿透它，不会被困在管壁内。这样一来，更多的能量能够照射到晶圆上，同时灯本身的温度也能保持在较低水平。
缺点与注意事项
不过，高纯度石英的缺点是它比较脆弱。虽然它耐热，但不耐震动。如果固定灯的支架导致灯与金属支架发生碰撞，就会在表面留下划痕。一旦出现这种情况，灯很快就会损坏。
请确保支架的固定方式正确。另外，冷却系统也必须足够强大，才能有效处理从晶圆表面反射回来的大量热量。