在300毫米光刻线上，冲洗过程中产生的热量变化会导致光刻胶的参数发生波动，从而影响后续的曝光工序。为此，我们设计了防水的红外冲洗灯，以此来消除这种不确定性。该灯光能在DI水冲洗过程中保持晶圆表面温度的稳定性，从而确保关键尺寸符合标准。
从技术角度来说，最重要的是： 该灯属于短波红外光源，能够高效地加热水和硅材料，实现快速且均匀的表面加热效果。其石英外壳及IP67级密封结构使其适用于1级到100级的洁净室环境——不会产生任何气体释放或颗粒物排放。在照明区域内，晶圆表面的温度稳定性可保持在±0.1°C左右，不同批次之间的重复性也非常好。
该灯具有闭环反馈控制系统，因此即使线路电压有所波动，其输出功率也能保持稳定。
为什么它适合用于冲洗工位： 在冲洗工位上，热量很容易导致问题。有了这款灯之后，就不需要再通过软烘来解决温度问题了，同时硬烘的时间也可以缩短。这样一来，返工率会降低，废品率也会下降，光刻过程中的关键尺寸控制也会更加精准。
由于加热是按需进行的，且集中在特定区域，因此不会浪费能源来加热整个水体。其可靠性已经得到证实：这类设备可以连续运行5,000小时以上，而功率下降幅度不到5%，这大大减少了意外停机时间，同时也降低了备件需求。
你需要了解的事项： 该灯既可用于垂直安装，也可用于水平安装，但需要配备与清洗台相适配的专用电源和控制系统。同时，要确保与晶圆路径之间有足够的间距，以避免出现阴影效应。
该灯需要一段时间来达到设定温度，因此需要在工艺流程中安排适当的预热时间，避免出现不必要的空闲时间。