Infračervené Záření on Custom Infrared Heat Solutions

Výroba infračervených lamp z uhlíkových vláken

Sat, 18 Jul 2026 04:12:58 +0800

Proč nahrazují infračervené lampy z uhlíkových vláken staré pece v polovodičových továrnách

Buďme upřímní: konvekční pece a sušení pomocí rozpouštědel už začínají být zastaralé. Většina továren se od nich odchyluje – částečně kvůli jejich nepraktičnosti, ale hlavně kvůli změnám v pravidlech týkajících se výroby bez olova a ekologické výroby.

Právě zde přicházejí na scénu infračervené lampy z uhlíkových vláken. Jedná se o efektivnější způsob provedení práce. Místo spoléhání se na hoření nebo nějaké chemické katalyzátory převádějí tyto lampy elektřinu přímo na vyzařované teplo. Jednoduché.

Infračervené ohřívací moduly pro fab

Wed, 01 Jul 2026 13:28:34 +0800

V provozu na výrobu čipů nejde o pohodlí – jde o termální rozsah, který si nemůžeme dovolit přehlédnout. Jakákoli odchylka o 0,5 °C během procesu zahřívání může ohrozit kontrolu kritických rozměrů a tím i celkovou úspěšnost výroby. Naše infračervená topná zařízení jsou navržena tak, aby tento termální rozsah byl dodržován v každém cyklu.

Používáme krátkovlnné infračervené emitory, které procházejí uzavřenou optickou dráhou tvořenou kvarcem. Výsledkem je rychlé zahřátí s minimální tepelnou inertností. V aktivní zóně zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými sériemi zůstává v rozmezí ±0,5 °C. Stabilizace nastavené teploty probíhá během několika sekund, takže proces zůstává opakovatelný i tehdy, když se linka pohybuje. Zařízení je vhodné pro použití v čistých prostorách – kompatibilní s klasifikací 1–100. Nízký počet částic zajišťuje, že jejich množství během procesu zahřívání neroste.

Vodotěsná infračervená lampa na oplach

Sun, 28 Jun 2026 06:09:52 +0800

V řadě 300 mm mohou tyto teplotní výkyvy způsobené oplachováním narušit profil vašeho fotorezistentu před dalším zahříváním. Vytvořili jsme vodotěsnou infračervenou lampu, která tento efekt eliminuje. Tato lampa udržuje povrch čipu na konstantní teplotě během cyklů oplachování vodou, takže kritické rozměry zůstávají v požadovaných mezích.

Co je z technického hlediska důležité
Lampa pracuje v oblasti krátkovlnného infračerveného záření – efektivně působí na vodu a křemík, čímž dochází k rychlému zahřívání povrchu. Kvartový obal a uzavřené pouzdro s certifikací IP67 jsou vhodné pro prostředí s úrovní čistoty 1–100 – bez uvolňování plynů a bez nárůstu počtu částic. V osvětlené oblasti zůstává jednotnost teploty na úrovni ±0,1 °C, což zajišťuje konzistentnost mezi jednotlivými sériemi výrobků.

Pokročilá infračervená lampa pro balení

Sun, 31 May 2026 05:08:46 +0800

Na balicím pracovišti není teplo nikdy jen teplem. Je to řízený páka v hře o výtěžnost. Jedno chladné místo na waferu během sušení, jedno překročení teploty při měkkém pálení fotoresistu a právě jste přenesli rozpočet vad na druhou stranu. V pokročilém balení – vrstvené čipy, jemné rozvody RDL, tenké zapouzdření – není prostor pro odchylky. Infračervené lampové systémy musí zajistit tepelný režim, který zůstává v rámci procesního okna, cyklus za cyklem.

Naši infračervenou lampu pro pokročilé balení jsme vyvinuli právě pro tyto situace: když recept vyžaduje rychlé, rovnoměrné zahřátí; když je kontrola částic v čistém prostředí základním požadavkem; a když provozní doba závisí na součástech, které se chovají předvídatelně, směnu po směně.