http://ir-heat-solutions.com/cs/tags/rtp/ Recent content in RTP on Custom Infrared Heat Solutions Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/cs/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sat, 06 Jun 2026 04:23:09 +0800 http://ir-heat-solutions.com/cs/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Výměna lampy Mattson RTP"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>Na výrobní lince není RTP komora jen ohřívač – je to procesní přístroj. Když výkon lampy kolísá, uniformita teploty waferu se rozchází. Profily soft bake a hard bake jsou mimo specifikaci. Řízení kritických rozměrů ustupuje. Ztrácíte výtěžnost ještě před zahájením kontroly vad.</p> <p>Technicky nejdůležitější je opakovatelnost. Tento náhradní zdroj světla kompatibilní s Mattson RTP jsme postavili na krátkovlnných halogenových zdrojích a kř<a href="https://goldisgood.com">emenu</a> s vysokou propustností, aby dodával <a href="https://henruite.com">konzistentn</a>í zářivou energii do komory. Dosahujete stability teploty ±0,1°C přes celý wafer, takže termální rozpočet zůstává zachován – zejména u pokročilých technologií. Sestava je určena pro čisté prostory třídy 1–100, s materiály a konstrukcí eliminujícími tvorbu částic na nulu. Je navržena k provozu 24/7 s cílem minimalizovat neplánované prostoje.</p>