http://ir-heat-solutions.com/cs/tags/steel/ Recent content in Steel on Custom Infrared Heat Solutions Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800 http://ir-heat-solutions.com/cs/posts/stainless-steel-heater-housing-fab/ Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800 http://ir-heat-solutions.com/cs/posts/stainless-steel-heater-housing-fab/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Výroba pouzdra topení z nerezové oceli"></p> <p>Na výrobní lince se rychle naučíte: posun o 0,5 °C při pečení fotorezistu může narušit uniformitu CD a jeden částicový incident může zničit velké množství. Vyrobili jsme kryt topení z nerezové oceli, který udržuje tepelný výkon přesně v rámci procesního okna – směnu za směnou, šarži za šarží.</p> <p><strong>Co je technicky podstatné</strong><br> Kryt je z nerezové oceli 316L, vybrané pro odolnost vůči korozi a nízký výtok plynů v čistých prostorách třídy 1 až 100. Integrované krátkovlnné infračervené prvky rychle dosahují požadované teploty s přesnou regulací, která udržuje uniformitu na úrovni waferů v rámci ±0,1 °C na substrátech o průměru 150 mm a 200 mm. Opakovatelnost pečení je ±0,5 °C, takže profily měkkého a tvrdého pečení zůstávají nezměněné.<br> Návrh proudění vzduchu minimalizuje turbulence a eliminuje mrtvé zóny, přičemž za běžného provozu udržuje generování částic pod 0,01 částic/cm².</p>