Sichere Bedingungen mit goldbeschichteten IR-Lampen schaffen
Wenn Sie schon einmal in einem Umfeld mit Halbleiterbauteilen gearbeitet haben, wissen Sie, womit man es zu tun hat. Es geht dabei um Chemikalien, die aggressiv und flüchtig sind – und in einigen Fällen sogar explosionsgefährdet sind, falls etwas schiefgeht. Stellen Sie sich nun vor, man würde eine Hochtemperatur-IR-Lampe in diese Mischung bringen.
Standardquarztuben reichen hier einfach nicht aus. Deshalb verwenden wir goldbeschichtete IR-Lampen. Sie sind speziell für solche chaotischen Bedingungen konzipiert.
Warum Gold?
Stellen Sie sich eine gewöhnliche IR-Lampe wie eine Glühbirne vor – sie gibt Wärme überall ab. In einem Raum voller Lösungsmitteldämpfe ist das ein Problem. Wenn die Wärme aus dem falschen Winkel auf diese Dämpfe trifft, wird der Explosionspunkt erreicht. Das ist nicht gut.
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine goldene Schicht auf die Rückseite der Quarzhaftung auftragen. Diese Schicht fungiert wie ein Spiegel und leitet die Infrarotenergie direkt auf die Wafer. So wird die Wärme dort konzentriert abgegeben, wo sie benötigt wird – während der Rest des Geräts weiterhin kühl bleibt.
Doch die Wärme ist nicht das einzige Problem. Korrosive Gase können die Leitungen beschädigen. Um dies zu verhindern, umhüllen wir die Enden der Lampen mit einer luftdichten Abdeckung. Dadurch bleiben die Chemikalien von den elektrischen Kontakten fern. Keine Korrosion, keine Kurzschlüsse – und vor allem: keine Funken, die einen Brand auslösen könnten.
Der Kompromiss
Das Problem ist: Wenn man so viel Energie freisetzt, bekommt die Quarzröhre unter Druck. Es entstehen starke Temperaturunterschiede im Glas. Falls das Kühlsystem nicht ausreicht – besonders in den Bereichen um die Befestigungselemente – können die Röhren verbogen werden oder sogar versagen. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Einfache Installation
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie einfach eingebaut werden können. Man schließt sie einfach an die vorhandene Stromversorgung an – und schon funktionieren sie.
Aber ein Rat: Überprüfen Sie immer die Abdichtungen. Jedes Mal, wenn Sie Wartungsarbeiten durchführen, achten Sie auf diese Abdichtungen. Ein kleiner Riss in einer chemisch aggressiven Zone stellt ein großes Sicherheitsrisiko dar. Für uns ist es viel wichtiger, dass die Abdichtungen intakt bleiben, als möglichst viele Watt zu erzeugen. Nur so kann der Prozess stabil laufen – und die Menschen im Gebäude sicher bleiben.