In der Fertigungshalle kann eine Temperaturunterschiede von 0,5 °C auf der Waferoberfläche während des Trocknungsprozesses des Photoresists dazu führen, dass die Kontrolle der Linienstärke sowie die Gesamtreichweite der Produktion beeinträchtigt werden. Der Reflektor in der Trockenlampe ist nicht einfach nur ein Hardwarekomponente – er prägt das thermische Feld, wodurch der Prozess von Schuss zu Schuss reproduzierbar bleibt.
Wir haben diesen Reflektor speziell für Trockenlampen entwickelt, damit eine Temperaturausgeglichenheit von ±0,1 °C gewährleistet wird. Dadurch können die Trocknungsprozesse genau nach den Vorgaben durchgeführt werden.
Im Inneren des Geräts befindet sich ein hochreiner Quarzreflektor, der mit Spezialbeschichtungen ausgestattet ist, die für kurzwelliges und mittelwelliges Infrarot geeignet sind. Dadurch entsteht eine stabile, reproduzierbare Energieverteilung, die den thermischen Anforderungen des Photoresists entspricht.
Das Gerät ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Es besteht aus Materialien mit geringer Gasemission sowie hat eine Oberflächenstruktur, die die Bildung von Partikeln nahezu verhindert. Das Gerät kann 24/7 ohne Unterbrechungen arbeiten – bei einer konstanten Leistung über 5.000 Stunden mit weniger als 5 % Intensitätsabweichung.
In der Lithographie ist die Temperaturausgeglichenheit ein wichtiger Faktor zur Kontrolle der Abmessungen. Mit einer Temperaturunterschiede von ±0,1 °C auf der Waferoberfläche können Fehler am Randbereich der Wafer vermieden werden, und die Verteilung der kritischen Abmessungen wird verbessert.
Dank des sauberen Designs des Reflektors wird weniger Nacharbeit erforderlich, die Qualifizierungszyklen verkürzen sich, und der Energieverbrauch sinkt – schließlich wird die Wärme genau dort geleitet, wo sie benötigt wird. Für den Photoresist-Prozess bedeutet das weniger verschwendete Wafer und eine bessere Planbarkeit der Produktionsmengen.
Die Installation erfolgt durch die richtige Ausrichtung der Lampe sowie durch die Optimierung des Luftstroms. Der Reflektor muss innerhalb von 0,5° ausgerichtet werden, um die gewünschte Temperaturausgeglichenheit zu erreichen. Eine Fehlausrichtung führt zu Veränderungen in den Isothermen.
Der Reflektor passt in standardmäßige Halogen- und NIR-Trockenlampengehäuse. Für die Nachrüstung sind jedoch modellspezifische Kits erforderlich. Nach dem Einbau sollte eine kurze Anpassungszeit eingeplant werden, um den Prozess wieder einzustellen.