Edelstahl Heizgehäuse Fertigung

Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800

Auf der Fertigungsebene lernt man schnell: Eine Drift von 0,5°C beim Fotoresist-Bake kann die CD-Uniformität stören, und ein einzelnes Partikelereignis kann erhebliche Schäden verursachen. Wir haben das Heizgehäuse aus Edelstahl konstruiert, um die thermische Leistung innerhalb des Prozessfensters zu halten – Schicht für Schicht, Charge für Charge.

Technisch relevant Das Gehäuse besteht aus 316L-Edelstahl, ausgewählt wegen seiner Korrosionsbeständigkeit und geringen Ausgasung in Reinräumen der Klassen 1–100. Integrierte kurzwellige Infrarotelemente erreichen die Betriebstemperatur schnell und gewährleisten eine präzise Steuerung, die die Wafer-Uniformität über Substrate von 150 mm und 200 mm innerhalb von ±0,1°C hält. Die Wiederholbarkeit von Backvorgang zu Backvorgang liegt bei ±0,5°C, sodass Ihre Soft-Bake- und Hard-Bake-Profile stabil bleiben.

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