Infrarot Heizmodule für Fabriken

Wed, 01 Jul 2026 13:28:33 +0800

In der Fertigungshalle geht es bei der Erhitzung des Fotoleitmittels nicht um Komfort – vielmehr handelt es sich um einen thermischen Rahmen, den man auf keinen Fall überschreiten darf. Eine Abweichung von 0,5 °C während der Erhitzung kann zu Problemen bei der Kontrolle der wichtigen Dimensionen führen und somit die Ausbeute beeinträchtigen. Wir haben unsere Infrarotheizmodule so konstruiert, dass dieser thermische Rahmen in jedem Zyklus eingehalten werden kann.

Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotemitter, die über einen versiegelten, aus Quarz bestehenden Lichtweg arbeiten. Dadurch entsteht eine schnelle, strahlende Wärmeabgabe mit minimaler thermischer Inertie. In der aktiven Zone bleibt die Homogenität auf dem Wafer bei ±0,1 °C – die Wiederholbarkeit zwischen verschiedenen Chargen liegt bei ±0,5 °C. Die Einstellungstemperatur kann innerhalb von Sekunden stabilisiert werden, sodass das Verfahren auch dann noch reproduzierbar bleibt, wenn die Anlage in Bewegung ist. Das Modul ist für Reinräume geeignet (Klasse 1–100) und seine konzipierte Struktur verhindert einen Anstieg der Partikelzahl während der Erhitzung.

Linearer Infrarot Heizeemitter

Sun, 21 Jun 2026 06:45:12 +0800

In der Fertigungshalle ist es so: Schon eine kleine Abweichung in der Temperatur während des Trocknungsprozesses kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Dimensionen nicht mehr gewährleistet wird. Man braucht also keine hohe Temperatur – vielmehr ist thermische Stabilität wichtig, damit die Temperaturen über mehrere Schichten hinweg innerhalb des zulässigen Bereichs bleiben.

Was technisch wichtig ist: Wir verwenden lineare Infrarotheizgeräte, die kurzwelliges Infrarotlicht abgeben. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C konstant. Die Reaktionszeit ist sehr kurz – nur Millisekunden – sodass eine geschlossene Regelung möglich ist, die den Trocknungsprozess genau kontrollieren kann.

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Infrarot Heizmodule für Fabriken

Linearer Infrarot Heizeemitter