Oven mit Infrarotheizer für Reinräume

Thu, 02 Jul 2026 09:30:01 +0800

In der Fabrikhalle gilt folgendes Prinzip: Schon eine Abweichung von 0,2 °C beim Erhitzen des Fotoleitmittels reicht aus, um die kritischen Abmessungen zu verändern – dadurch muss eine Charge wieder bearbeitet werden. Herkömmliche Öfen haben Schwierigkeiten mit der thermischen Trägheit sowie mit Partikeln in der Luft. Jede verschwendete Charge bedeutet somit einen Verlust an Produktionskapazität und Verzögerungen im Zeitplan.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Ofen für saubere Arbeitsumgebungen so konstruiert, dass er auf Kurzwellen-Infrarotstrahler setzt. Die Energie gelangt direkt in das Wafer – dadurch wird das gewünschte Temperaturniveau schnell erreicht, ohne dass die Kammer selbst erhitzt wird. Die Temperaturgleichmäßigkeit bleibt bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit bleibt über verschiedene Chargen hinweg konstant – genau das, was man für eine präzise Kontrolle der Abmessungen benötigt.

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Oven mit Infrarotheizer für Reinräume