http://ir-heat-solutions.com/de/tags/sp%C3%BClen/ Recent content in Spülen on Custom Infrared Heat Solutions Hugo de Sun, 28 Jun 2026 06:09:50 +0800 http://ir-heat-solutions.com/de/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sun, 28 Jun 2026 06:09:50 +0800 http://ir-heat-solutions.com/de/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Wasserdichte Infrarotlampe zum Spülen"></p> <p>In der 300-mm-Linie führen diese durch das Spülen verursachten Temperaturschwankungen dazu, dass sich das Profil des Fotolacks vor dem nächsten Trocknungsprozess verändert. Wir haben daher eine wasserdichte Infrarotlampe entwickelt, um diese Schwankungen auszugleichen. Sie hält die Wafernoberfläche während der Spülvorgänge bei einer konstanten Temperatur – dadurch bleiben die kritischen Abmessungen im gewünschten Bereich.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Die Lampe arbeitet im Kurzwellen-Infrarotbereich und kann effektiv mit Wasser sowie Silizium in Wechselwirkung treten, was eine schnelle, oberflächenbasierte Erwärmung ermöglicht. Die Quarzkapsel sowie der IP67-indizierte Gehäuseaufbau sind für <a href="https://goldisgood.com">Reinr</a>äume der Klassen 1–100 geeignet – es kommt zu keiner Ausgasung und keinem Anstieg der Partikelzahl. In der <a href="https://o-yate.net">beleuchteten</a> Zone bleibt die Homogenität auf der Wafernoberfläche bei ±0,1°C – auch zwischen verschiedenen Chargen bleibt die Genauigkeit konstant.</p>