Lámpara calefactora de semiconductor regulable

Sat, 27 Jun 2026 05:18:48 +0800

En la planta de fabricación, los pasos relacionados con el secado del fotoresoño se reducen, en esencia, al control térmico. Una desviación de medio grado ya puede arruinar la uniformidad del CD, mientras que una rampa de calentamiento lenta reduce la eficiencia del proceso. Hemos diseñado nuestra lámpara calefactora semiconductora regulable precisamente para estas situaciones, ofreciendo un calor estable y ajustable cuando el margen de maniobra térmica del wafer es muy limitado.

Lo que realmente importa Utilizamos un emisor de halógeno de onda corta, envuelto en un revestimiento de cuarzo. Este emisor calienta rápidamente y de manera eficiente, manteniendo su rendimiento a lo largo del tiempo. El control de temperatura durante el proceso de secado del fotoresoño es preciso y reproducible; la uniformidad a nivel de wafer se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C. La regulación de intensidad de luz es suave, sin parpadeos, lo que permite ajustar las velocidades de calentamiento según sea necesario, evitando así excesos. El sistema funciona perfectamente en salas limpias de clase 1-100, y no genera partículas durante su funcionamiento. Su fiabilidad es constante, ya que las unidades en uso pueden funcionar durante más de 5,000 horas sin que haya una desviación mayor al 5% en su rendimiento.

Regulable en Intensidad on Custom Infrared Heat Solutions

Lámpara calefactora de semiconductor regulable