
چرا استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا اهمیت دارد؟
در فرآیند تولید ویفرها، هدر رفتن انرژی به معنای از دست دادن پول است. در بسیاری از دستگاهها، مقدار زیادی انرژی وارد بدنه دستگاه میشود؛ این کار اتلاف انرژی محسوب میشود. به همین دلیل، ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا در لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم. لایه طلا، گرما را به سمت جلو هدایت میکند و گرما را در همان جایی که باید باشد، یعنی روی سطح سیلیکون، نگه میدارد.
ویژگیهای طلا
شما میتوانید بازتابندههای آلومینیومی زیادی را پیدا کنید؛ اما آنها مقدار قابل توجهی از انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. طلا متفاوت است؛ زیرا نور مادون قرمز را بهتر بازتاب میدهد.
وقتی فوتونهای بیشتری به ویفر برخورد کنند، گرمای تولید شده نیز بیشتر خواهد بود؛ در نتیجه، دستگاه میتواند سریعتر به دمای مورد نظر برسد. علاوه بر این، برای انجام کار، نیاز به انرژی کمتری خواهد بود. این روش، روشی کارآمدتر است.
مدیریت گرما
وقتی انرژی زیادی به یک لامپ کوچک وارد میشود، شرایط بسیار دشوار میشود. برای خشک کردن یا پختن سریع، به چنین تراکم گرمایی نیاز است؛ اما این کار برای دستگاه بسیار سخت است. ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت بدنه لامپ استفاده میکنیم تا لامپ در هنگام گرم شدن، تغییر شکل ندهد.
اما مسئله این است که باید لامپ را خنک نگه داشت؛ اگر بدنه لامپ به گونهای طراحی نشده باشد که گرما را از پشت لامپ دور کند، مشکلاتی پیش خواهد آمد. در نتیجه، کانکتورهای لامپ خراب خواهند شد یا لایه طلا نیز از بین خواهد رفت.
نصب و حفظ عملکرد لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی بتوان آنها را جایگزین لامپهای موجود کرد. همچنین، ما هندسه بازتابندهها را تغییر دادیم تا پرتو نور محدودتر شود؛ این کار باعث میشود که نقاط سرد در سطح ویفر از بین بروند.
توجه داشته باشید که باید لامپها را تمیز نگه دارید؛ حتی یک لایه نازک از گرد و غبار یا باقیماندههای شیمیایی میتواند کارایی لامپ را کاهش دهد. برای حفظ یکپارچگی گرما، باید لامپها را با مواد مناسب تمیز کرد.
اگر متوجه شدید که لایه طلا لامپ در حال پوستهپوسته شدن یا تغییر رنگ است، این نشانهای است که لامپ دیگر قابل استفاده نیست؛ بنابراین باید آن را عوض کنید.