
Arrêtez de gaspiller de la chaleur sur les surfaces des wafers
Lorsque vous chauffez des wafers en silicium, chaque watt gaspillé représente en fait de l’argent qui s’échappe de votre poche. La plupart des réflecteurs standards sont assez inefficaces : ils laissent trop d’énergie s’échapper vers le châssis, au lieu de la diriger vers la cible.
C’est pourquoi nous utilisons de l’or.
Cela peut sembler luxueux, mais c’est en réalité très pratique. L’or est incroyablement efficace pour refléter l’énergie infrarouge. Au lieu que le boîtier de la lampe absorbe la chaleur, l’or la renvoie presque entièrement vers le wafer.
Pourquoi l’or fonctionne si bien
Voici le problème avec l’aluminium : il devient moins efficace à mesure que les longueurs d’onde infrarouges augmentent. L’or, lui, ne présente pas ce problème.
En ajoutant une couche fine d’or, nous empêchons cette énergie de se perdre. Cela signifie que vous n’avez pas besoin d’augmenter la tension pour obtenir la chaleur nécessaire. Vous pouvez utiliser des lampes à un niveau de puissance plus bas, tout en atteignant la température souhaitée.
C’est gagnant-gagnant : vos tubes en quartz subissent moins de stress thermique, et vos filaments durent plus longtemps.
Diriger la chaleur là où elle doit être
Nous ne nous contentons pas de refléter la lumière ; nous la concentrons également en un point précis. Cela crée ainsi une zone de chaleur très dense.
Le résultat ? Les temps de chauffage sont réduits, et la température reste constante sur l’ensemble du wafer.
Si vous utilisez des réflecteurs vieux ou endommagés, vous perdez cette capacité de concentration de la chaleur. Mais l’or ne s’oxyde pas. Il reste propre et garde la chaleur exactement là où elle doit être.
Quelques points à garder à l’esprit
Comme les revêtements en or transmettent beaucoup plus de chaleur au wafer, il est important de surveiller vos systèmes de refroidissement. Comme l’énergie est très concentrée, le moindre désalignement du capteur ou de la lampe peut créer des zones chaudes. De plus, si vous passez de l’aluminium à l’or, ne vous contentez pas de connecter les éléments simplement. Prenez le temps de recalibrer vos contrôleurs PID afin de ne pas dépasser la température souhaitée.
Une fois tout configuré correctement, vous verrez que vos factures d’électricité diminueront.