Pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants
Lors du traitement des wafers, gaspiller de l’énergie, c’est simplement laisser de l’argent sur la table. La plupart des systèmes permettent à trop d’énergie de s’échapper vers le châssis de la machine, ce qui est un gaspillage. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or pour nos ampoules infrarouges. Au lieu de laisser cette chaleur s’éparpiller, la couche d’or la dirige directement vers sa destination : la surface du silicium.
Les avantages de l’or
On trouve beaucoup de réflecteurs en aluminium. Ils sont bons, mais ils absorbent une grande quantité d’énergie infrarouge. L’or, lui, reflète bien mieux la lumière infrarouge. Plus de photons atteignent le wafer, ce qui permet d’atteindre plus rapidement la température souhaitée. De plus, il ne faut pas autant d’énergie pour obtenir le même résultat. C’est donc plus efficace.
Gérer la chaleur
Lorsque l’on utilise une ampoule à forte puissance, les choses deviennent intensives. On a besoin de cette densité thermique pour un séchage ou un chauffage rapide, mais cela est très éprouvant pour l’équipement. Nous utilisons du quartz de haute pureté pour le revêtement de l’ampoule, afin qu’elle ne se déforme pas lorsqu’elle chauffe. Mais il faut absolument maintenir l’ampoule froide. Si son boîtier n’est pas conçu pour évacuer la chaleur, vous risquez de endommager les connecteurs ou la couche d’or.
Installation et maintenance
Nous avons conçu ces ampoules pour qu’elles puissent être remplacées facilement. Elles s’insèrent sans aucun problème dans vos matrices de semi-conducteurs existantes. Nous avons également modifié la géométrie des réflecteurs afin de resserrer le faisceau lumineux, ce qui élimine ces « zones froides » sur le wafer. Un conseil : gardez-les propres. Même une fine couche de poussière ou de résidus chimiques peut réduire leur efficacité. Utilisez des solvants appropriés pour maintenir une température constante. Si vous remarquez que l’or s’écaille ou change de couleur, c’est le signe que l’ampoule est défectueuse. Il faut alors la remplacer.