Sur le plan de fabrication, une légère variation de température de 0,5 °C sur toute la surface de la wafer pendant le processus de cuisson du photorésistant peut compromettre considérablement le contrôle des épaisseurs des lignes et donc la qualité finale des produits. Le réflecteur présent dans la lampe de cuisson n’est pas simplement un élément matériel ; il permet en fait de moduler le champ thermique, ce qui assure que le processus soit reproductible à chaque utilisation.
Nous avons conçu ce réflecteur pour garantir une uniformité thermique de ±0,1 °C, afin que les profils de cuisson soient parfaitement conformes aux spécifications requises.
Ce réflecteur est constitué de quartz de haute pureté, recouvert d’un revêtement spécialement adapté aux ondes infrarouges courtes et moyennes. Cela permet une distribution énergétique stable et reproductible, tout en respectant les limites thermiques imposées au photorésistant.
L’appareil est compatible avec des chambres propres de classe 1 à 100. Il est fabriqué à partir de matériaux à faible émission de gaz, et sa surface est tellement lisse qu’elle limite à presque zéro la formation de particules. Il peut fonctionner 24/7 sans interruption, avec une intensité constante sur plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de variation d’intensité.
En lithographie, l’uniformité de la température est essentielle pour contrôler la précision des dimensions des produits. Avec une variation de température de ±0,1 °C sur toute la surface de la wafer, on réduit les défauts liés aux bords de la zone traitée, et on améliore ainsi la précision des dimensions critiques.
Le réflecteur permet également de réduire les travaux de correction, de raccourcir les cycles de qualification, et de diminuer la consommation d’énergie, car la chaleur est concentrée là où elle est nécessaire. En ce qui concerne le traitement du photorésistant, cela se traduit par moins de wafer endommagés et une productivité plus élevée.
L’installation se fait en ajustant l’orientation de la lampe et le flux d’air. Le réflecteur doit être aligné avec précision, à 0,5 ° près, afin de maintenir l’uniformité thermique souhaitée. Tout décalage peut perturber les isothermes.
Le réflecteur convient aux boîtiers standards des lampes halogènes et NIR. Cependant, les kits de remplacement sont spécifiques à chaque modèle. Après installation, il est nécessaire d’effectuer un ajustement rapide de la température pour recalibrer le processus.