על רצפת המפעל לומדים מהר: סטייה של 0.5°C באפיית הפוטורזיסט יכולה לשבש את אחידות ה-CD, ואירוע חלקיק אחד עלול למחוק כמות משמעותית. בנינו את מארז המתכת האל חלד של גוף החימום כדי לשמור על ביצועים תרמיים בתוך טווח התהליך – משמרת אחרי משמרת, אצווה אחרי אצווה.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
המארז עשוי פלדת אל חלד 316L, שנבחרה בהתחשב בהתנגדות לקורוזיה ובפליטת גזים נמוכה בחדרים נקיים Class 1–100. אלמנטים אינפרא אדומים קצרי גל משולבים מאפשרים חימום מהיר עם בקרה מדויקת ששומרת על אחידות ברמת המצע ±0.1°C על פני מצעים בקוטר 150 מ"מ ו-200 מ"מ. חזרתיות אפייה לאפייה עומדת על ±0.5°C, כך שפרופילי אפיית רכה וקשה נשמרים ללא שינויים.
עיצוב זרימת האוויר מפחית טורבולנציה ומסלק אזורי דמדומים, ושומר על יצירת חלקיקים מתחת ל-0.01 חלקיקים לס"מ² בתנאי הפעלה רגילים.
מדוע המארז שומר על ביצועים בעבודת ליתוגרפיה בפועל
המארז מיועד לשלבים תרמיים סמוכים לליתוגרפיה שבהם תקציב החום מוגבל. הוא שומר על נקודת ההגדרה בזמן מעבר בין אצוות, מקצר את זמני ההמתנה לחימום, ושומר על יציבות ה-yield על ידי שמירה על ויסקוזיות הפוטורזיסט ומתח הסרט במקומות הנדרשים. צריכת הכוח נשמרת מבוקרת – חימום ממוקד והפסדי המתנה נמוכים – והמבנה מותאם לעבודה רציפה 24/7 עם פחות עצירות לתחזוקה.
מה יש לתכנן מראש
התקנה תלויה בהתאמת ממשק הכלי ואישור כיוון זרימת האוויר; אי התאמה תגרום לאובדן אחידות. גוף החימום מספק את ביצועיו המדודים רק כאשר אוויר אספקת החדר הנקי עומד בטמפרטורה וברמות חלקיקים שנקבעו.
יש לתכנן כיול תקופתי של החיישנים ובדיקת האלמנטים. כך ניתן לשמור על אחידות ±0.1°C לאורך אלפי מחזורים.