Fabrikasi rumah pemanas stainless steel

Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800

Di lantai pabrik, Anda belajar cepat: pergeseran 0,5°C pada proses pemanggangan photoresist dapat mengganggu keseragaman CD, dan satu kejadian partikel saja bisa merusak banyak hal. Kami merancang rumah pemanas stainless steel untuk menjaga performa termal tetap dalam jendela proses—shift demi shift, lot demi lot.
Apa yang penting secara teknis
Rumah pemanas ini terbuat dari stainless 316L, dipilih karena ketahanan korosi dan rendahnya outgassing di ruang bersih Kelas 1–100. Elemen inframerah gelombang pendek terintegrasi memanaskan dengan cepat, dengan kontrol ketat yang menjaga keseragaman tingkat wafer dalam ±0,1°C pada substrat 150 mm dan 200 mm. Repetabilitas antar pemanggangan mencapai ±0,5°C, sehingga profil soft bake dan hard bake tetap konsisten.
Desain aliran udara mengurangi turbulensi dan menghilangkan zona mati, menjaga produksi partikel di bawah 0,01 partikel/cm² selama operasi normal.
Mengapa tahan dalam pekerjaan litografi nyata
Rumah pemanas ini ditujukan untuk tahapan termal yang berdekatan dengan litografi dimana anggaran termal sangat terbatas. Rumah ini mempertahankan setpoint selama transisi batch, mempersingkat waktu pemanasan, dan menjaga hasil produksi stabil dengan mempertahankan viskositas photoresist dan tegangan film pada level yang diperlukan. Konsumsi daya dijaga efisien—pemanasan terfokus dan kerugian standby rendah—dan konstruksi dirancang untuk operasi fab 24/7 dengan gangguan perawatan yang minimal.
Apa yang perlu direncanakan
Pemasangan harus sesuai dengan antarmuka alat dan memastikan arah aliran udara benar; jika tidak, keseragaman akan terganggu. Pemanas hanya memberikan performa sesuai spesifikasi jika udara pasokan ruang bersih memenuhi suhu dan tingkat partikel yang ditentukan.
Rencanakan kalibrasi sensor dan inspeksi elemen secara berkala. Itulah cara menjaga keseragaman ±0,1°C konsisten selama ribuan siklus.

Perumahan on Custom Infrared Heat Solutions

Fabrikasi rumah pemanas stainless steel