Fabbricazione della custodia del riscaldatore in acciaio inox

Tue, 02 Jun 2026 06:23:12 +0800

Sulla linea di produzione, si impara in fretta: una variazione di 0,5°C nella cottura del fotoresist può compromettere l’uniformità del CD, e un singolo evento particellare può causare danni significativi. Abbiamo progettato l’involucro riscaldante in acciaio inox per mantenere le prestazioni termiche entro la finestra di processo—turno dopo turno, lotto dopo lotto.

Cosa conta, tecnicamente
L’involucro è in acciaio inox 316L, scelto per la resistenza alla corrosione e il basso outgassing nelle cleanroom di Classe 1–100. Gli elementi a infrarossi a onda corta integrati consentono un rapido raggiungimento della temperatura, con un controllo preciso che mantiene l’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C su substrati da 150 mm e 200 mm. La ripetibilità da cottura a cottura è di ±0,5°C, assicurando che i profili di soft bake e hard bake rimangano costanti.
Il design del flusso d’aria riduce la turbolenza ed elimina le zone morte, mantenendo la generazione di particelle sotto 0,01 particelle/cm² durante il normale funzionamento.

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Fabbricazione della custodia del riscaldatore in acciaio inox