http://ir-heat-solutions.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%B3/ Recent content in オーブン on Custom Infrared Heat Solutions Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 09:30:01 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:30:01 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター"></p> <p>ファブ内では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に0.2℃でも温度が変動すれば、ウェハの寸法が変わってしまい、そのロットは再加工が必要になります。従来のオーブンでは、熱の慣性や空気中の粒子の影響を克服するのが難しく、結果として廃棄されるロットが発生し、生産スケジュールに支障が出ます。</p>