http://ir-heat-solutions.com/ja/tags/%E4%B8%AD/ Recent content in 中 on Custom Infrared Heat Solutions Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:00:20 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 01:00:20 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ用中波赤外線ヒーター"></p> <p>製造現場において、加熱処理の工程こそが、熱的な<a href="https://henruite.com">制約条件</a>を決定する重要な要素となります。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、加熱の過程で粒子が発生してしまうと、そのロットは廃棄されてしまいます。従来の加熱方式では、高度なノードで求められる微小な精度を実現することはできず、速度と制御の間で<a href="https://o-yate.com">妥協</a>しなければなりません。</p> <p><strong>実際に重要なのは何か</strong> 中波赤外線ヒーターは、エネルギーを直接ウェーハに送り込みます。そのスペクトラムはシリコンの吸収特性に合わせているため、迅速な熱応答と精密な安定状態の制御が可能です。私たちはウェーハ全体の均一性を±0.1°C以内に保ち、設定値もシフトごとに0.2°C以内の範囲内で安定しています。</p>