http://ir-heat-solutions.com/ja/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8%E6%80%A7/ Recent content in 安全性 on Custom Infrared Heat Solutions Hugo ja Wed, 15 Jul 2026 10:10:37 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 15 Jul 2026 10:10:37 +0800 http://ir-heat-solutions.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-solutions.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <h1 id="クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法ウェハーを加熱している間も">クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法（ウェハーを加熱している間も）</h1> <p>クラス100の<a href="https://henruite.com">環境</a>で作業を行うときは、ほこりと戦っているようなものです。わずかなほこりの粒子があっただけで、作業したウェハー全体が台無しになってしまいます。 <a href="https://o-yate.com">問題</a>は、ウェハーを加熱するとき、危険なのは温度だけではないということです。実際には、ランプ自体が問題です。通常のガラスは高温になると壊れたり、有害なガスを放出したりしてしまい、それによってウェハーに汚染物質が付着してしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英を使用します。金属成分は一切含まれておらず、何の問題もありません。</p> <h2 id="ゴールディロックス距離">「ゴールディロックス」距離</h2> <p>赤外線ランプをウェハーのすぐそばに置くわけにはいきません。そうすると、シリコンが変形するほどの高温部分ができてしまいます。さらに悪いことに、もしランプがウェハーに触れてしまったら、即座に汚染が起こります。 適切な距離を見つけるのは少し難しいです。ランプを近づけすぎると、熱が集中してしまいます。一方で、300mmサイズのウェハー全体に均一な温度を得るためにランプを離すと、出力を上げたくなります。しかし、出力を過度に上げると、ランプが壊れてしまいます。</p>