전문 반도체 장비 예비 부품

fab 라인에서 포토레지스트 베이크 프로파일은 권고사항이 아니라 기준이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 0.5도만 편차가 나도 CD가 변동하며, 그 순간부터 문제 원인을 추적하느라 라인이 멈추고 스케줄러가 꼬인다. 우리는 프로세스가 요구하는 열 제어를 유지하기 위해 전문...