왜 진공 시스템에서는 뜨거운 공기 대신 적외선 히터를 사용하는가? 반도체 제조 공정에 종사하는 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 열이 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 오랫동안 우리는 강제 공기 순환 방식을 사용해왔지만, 문제점이 있었습니다. 즉, 진공 상태...

진공 챔버가 폭발하는 것을 막는 방법 화학적 세척을 위해 진공 챔버를 사용한다면, 그 끔찍한 상황을 이미 알고 있을 것입니다. 가연성이 있고 폭발성이 있는 용매들이 공기 중에 떠다니고 있으며, 열도 필요합니다. 문제는 일반적인 적외선 램프는 “열린 구조”라는 점입니다...